基于多次平移的平面绝对检测仿真

发布时间：2017-10-26 02:12

  本文关键词：基于多次平移的平面绝对检测仿真

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【摘要】：将待测面形表示为多项式的和,通过分别沿x,y向多次平移待检光学元件得到移动前后待测元件面形差,采用最小二乘法拟合多项式系数,得到待检光学元件的绝对面形。推导了多次平移法的理论公式,并进行了仿真实验,模拟了移动次数、移动间隔和采样点数对测量精度的影响。仿真结果表明:待测平面与初始平面残差图的均方根值为5.118×10~(-13)λ,理论误差达到高精度平面面形检测要求。
【作者单位】： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心;中国工程物理研究院研究生院;
【关键词】： 光学检测 多次平移法 平面绝对测量 高精度面形检测 仿真分析
【分类号】：TH74
【正文快照】： 光学元件的面形精度是影响高功率固体激光装置输出光束质量的重要因素之一。作为光学元件加工和使用的“眼睛”,光学元件面形的高精度检测越来越受到元件加工和使用部门的关注。目前,常用的光学元件面形检测方法基本属于相对检测法,其测量结果仅能表征待测元件面形相对于标准

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前3条

1 杨鹏;伍凡;侯溪;;旋转非对称项面形误差绝对检测的仿真分析[J];光电工程;2011年01期

2 贾辛;邢廷文;魏豪明;李云;;采用奇偶函数法的平面面形绝对测量技术仿真分析[J];红外与激光工程;2012年02期

3 宋伟红;伍凡;侯溪;杨鹏;;基于平移旋转的球面绝对检测技术仿真分析[J];强激光与粒子束;2011年12期

【共引文献】

中国期刊全文数据库 前7条

1 张建锋;曹学东;景洪伟;吴时彬;阴旭;;基于旋转法的干涉仪系统误差标定[J];光电工程;2011年12期

2 宋伟红;伍凡;侯溪;;基于单次旋转的旋转非对称面形误差绝对检测技术研究[J];光学学报;2012年08期

3 林维豪;罗红心;宋丽;张翼飞;王R，

本文编号：1096547