车载大口径FSM用SiC反射镜制备工艺研究

发布时间：2017-10-26 04:31

  本文关键词：车载大口径FSM用SiC反射镜制备工艺研究

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【摘要】：为了获得高面形精度、高反射率的轻质反射镜,选用Si C为基底材料,对反射镜的加工制备工艺进行了深入研究。首先从车载大口径FSM中平面反射镜的应用需求出发,提出了反射镜的主要设计指标。然后,针对反射镜的轻量化结构采用反应烧结法获得镜坯,并通过机械加工使其接近成型;继而采用物理气相沉积法对Si C反射镜进行表面改性处理,进而采用古典抛光法对反射镜进行光学精加工;最后在反射镜的工作表面镀覆金反射膜。在完成车载大口径FSM用Si C反射镜的加工制备后,对反射镜的面形精度和反射率进行了实验检测。结果显示:Si C反射镜的面形精度(RMS值)优于λ/30;对中波激光的反射率约为98.0%,对长波激光的反射率约为98.2%;均满足车载大口径FSM的应用需求。
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;中国科学院大学;
【关键词】： SiC反射镜 制备工艺 面形精度 反射率
【基金】：吉林省自然科学基金资助项目(No.201115123) “863”项目(No.2011AA7031024G)资助
【分类号】：TH74
【正文快照】： 1引言快速反射镜(fast steering mirror,FSM)作为精确控制光束传播方向的光学装置,具有响应速度快、指向精度高和角度分辨力大等突出优点[1-3]。目前已被广泛应用于激光通讯、图像稳定、自适应光学和精密跟踪等领域[4-6]。平面反射镜作为FSM系统中的主要载荷与有效工作元件,其

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本文编号：1097042