主光轴平行于基底的微透镜阵列设计与制作

发布时间：2017-10-27 13:35

  本文关键词：主光轴平行于基底的微透镜阵列设计与制作

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【摘要】：用聚二甲基硅氧烷(PDMS)软光刻工艺实现了一种主光轴平行于基底的微透镜阵列。首先对微透镜形成过程中的PDMS薄膜受力和变形情况进行了分析,并采用有限元分析方法对不同压力、不同厚度的薄膜变形情况进行了模拟,确定了合理的微透镜腔体结构;然后利用SU-8负模制作了PDMS微透镜腔体,将腔体与盖片进行了密闭封装,通过一定的压力向其注入紫外固化光学胶成型了微透镜阵列;最后使用自制装置对微透镜阵列的聚焦效果进行了测试。结果表明,提出的制作方法简单易行、成本低廉和焦距可控,而且易与其它的微系统集成到同一芯片。
【作者单位】： 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室 电子测试技术教育部重点实验室;山西大学商务学院信息学院;
【关键词】： 微透镜阵列 薄膜形变 有限元分析 芯片键合 聚焦测试
【基金】：国家自然科学基金(61176115) 山西大学商务学院科研(2013006)资助项目
【分类号】：TH74
【正文快照】： 1引言由一系列直径在10~100μm之间的微型透镜按一定方式排列而成的微透镜阵列,主要用于实现光束的发射、聚焦、偏折、分割、复合、开关、耦合和接收等功能[1],在图像传感器、OLED耦合效率的增强、光学扫描、波前测量、光学器件互连和三维测量等微光学系统中得到广泛的应用。

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本文编号：1103734