一种防倾斜MEMS平行板静电执行器（英文）

发布时间：2017-10-30 15:13

  本文关键词：一种防倾斜MEMS平行板静电执行器（英文）

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【摘要】：首先简短地叙述了双端固支平行板静电执行器存在的倾斜问题,该问题会降低其可靠性并且减少其行程,从而限制它的应用范围。为了克服这个问题和提升该类执行器的性能,提出了一种新型的防倾斜MEMS平行板静电执行器结构,在实现防倾斜作用的同时获得了较大的行程。设计时对上极板的对称S型梁结构和分离的下电极结构进行了理论计算和仿真分析。基于商业表面微细加工工艺PolyMUMPs加工了样品并利用白光干涉仪进行了实验测试。该执行器可得到1.92μm的行程且不会发生倾斜,特别适合应用于微变形镜器件。
【作者单位】： 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室;电子科技大学光电信息学院;
【关键词】： 执行器 静电 平行板 行程 防倾斜
【基金】：National Natural Science Foundation of China(11403029) Youth Innovation Promotion Association CAS(2014346)
【分类号】：TH703
【正文快照】： MEMS　parallel-plate　actuator　is　depicted　in　Fig.1,0　Introductionwhich　is　composed　of　an　upper　electrode　and　a　Actuators　are　the　key　devices　in　MEMS　systemlower　electrode.The　upper　electrode　is　a　fixed-for　transforming　the　

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前1条

1 胡放荣;王爱娜;邱传凯;姚军;;静电排斥驱动六边形MEMS微镜(英文)[J];纳米技术与精密工程;2010年02期

【共引文献】

中国硕士学位论文全文数据库 前7条

1 唐森;基于柔顺机构SMA扭转驱动器设计及实验研究[D];中国科学技术大学;2011年

2 唐甜甜;激光3D视觉系统高效扫描光学系统的设计与实现[D];哈尔滨工业大学;2013年

3 张峰;用于高清晰激光视觉系统的MEMS扫描技术研究[D];哈尔滨工业大学;2012年

4 李绍楠;红外激光外差干涉仪高精度相位提取算法研究[D];哈尔滨工业大学;2014年

5 许成龙;用于消除RF MEMS开关介质充电的新型微驱动结构[D];太原理工大学;2014年

6 郭兴军;静电斥力RF MEMS开关的设计与优化[D];太原理工大学;2015年

7 李波;基于二维激光扫描成像的机器人焊接轨迹修正方法研究[D];华南理工大学;2015年

【二级参考文献】

中国期刊全文数据库 前1条

1 杨华峰;刘桂林;饶长辉;姜文汉;;变形镜波前补偿能力的空间频域分析[J];强激光与粒子束;2007年11期

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 ;利用开放平台 提供优质设备——访瑞士搏力谋执行器有限公司产品经理袁三明[J];智能建筑与城市信息;2004年06期

2 杨志欣,孙宝元,董维杰,崔玉国;一种新型惯性式压电执行器研究[J];大连理工大学学报;2005年01期

3 张德林;杨凯;贺晋华;辜承林;;基于电-磁(热)-力转换功能材料的新型执行器研究与应用[J];微电机;2007年10期

4 鲁军;王凤翔;;基本式和差动式旋转执行器研究[J];中国机械工程;2009年10期

5 刘建波;一种具有步进功能的执行器控制电路[J];自动化仪表;2001年03期

6 陈克喜;;汽车自动空调风门执行器的种类及应用[J];汽车电器;2011年05期

7 龙得云,彭孟成,张鞍山;执行器的理论研究与实践[J];中国仪器仪表;2004年05期

8 AL Wroblaski,Greg Kaiser;机电执行器的妙用[J];现代制造;2005年28期

9 王梦华;杨铁皂;张保恒;;低功耗摆动式电磁执行器的设计与仿真[J];河南科技大学学报(自然科学版);2006年01期

10 单建华;林丙涛;汪小华;孔德义;梅涛;褚家如;;双向横向热执行器结构设计[J];微细加工技术;2007年05期

中国重要会议论文全文数据库 前10条

1 张兵;吴宏鑫;;单向执行器系统配置的完整性[A];1998年中国控制会议论文集[C];1998年

2 张立影;;300MW机组风机执行器改造分析[A];全国火电300MWe级机组能效对标及竞赛第三十九届年会论文集[C];2010年

3 付玉林;陈远玲;;两种柴油机电液执行器的比较研究[A];第五届全国流体传动与控制学术会议暨2008年中国航空学会液压与气动学术会议论文集[C];2008年

4 宦荣华;朱位秋;;计及执行器饱和的滞迟系统的非线性随机最优控制[A];第九届全国振动理论及应用学术会议论文集[C];2007年

5 ;天津市津达执行器有限公司[A];《电站信息》2013年第07期[C];2013年

6 王冲宇;程世业;李海涛;曹文花;;200MW制粉系统Bernard ST6执行器摆动的原因分析及处理[A];全国火电200MW级机组技术协作会第二十三届年会论文集[C];2005年

7 冯长水;朱位秋;;计及执行器饱和的宽带激励下非线性振动统的随机最优控制[A];第九届全国振动理论及应用学术会议论文集[C];2007年

8 陈娇蓉;蔡胤;刘飞;;具有饱和执行器的Markov跳变系统H∞控制[A];第25届中国控制会议论文集（中册）[C];2006年

9 王会义;于良耀;宋健;;汽车主动安全控制液压执行器[A];第四届全国流体传动与控制学术会议论文集[C];2006年

10 梁国欣;郭晶晶;;智能电液执行器研究[A];全国冶金自动化信息网2014年会论文集[C];2014年

中国重要报纸全文数据库 前5条

1 周嘉铨;发展执行器应走电度表之路[N];中国工业报;2003年

2 记者 曾立 实习生 左秀;“川仪造”执行器打破国外企业垄断[N];重庆日报;2012年

3 李文;提升运行效率 降低运营成本[N];中国煤炭报;2008年

4 蔡绮芝 DigiTimes;传感器、执行器市场年增长19%[N];电子资讯时报;2007年

5 ;网络化传感器的接口标准[N];中国电子报;2002年

中国硕士学位论文全文数据库 前10条

1 杨杰;无线传感器与执行器网络拓扑修复机制研究[D];昆明理工大学;2015年

2 杨家伟;基于无线传感器/执行器网络的智能灯光控制研究[D];华南理工大学;2015年

3 雷涛;混合激励电磁执行器及其控制系统的研究[D];哈尔滨工业大学;2006年

4 董芳;基于单片机的自传感执行器控制技术研究[D];沈阳工业大学;2011年

5 庄乾霞;压电自感知执行器的研究与开发[D];大连理工大学;2004年

6 王东军;柴油机调速电磁执行器设计与测试研究[D];哈尔滨工程大学;2010年

7 林屹清;比例型车用电磁执行器驱动及控制系统研究[D];江南大学;2011年

8 张菊;超磁致伸缩执行器磁滞建模与控制技术研究[D];大连理工大学;2004年

9 赵卫良;工程机械多执行器电液分流控制研究[D];浙江大学;2003年

10 张连俞;柴油机电磁调速执行器参数辨识与动态特性分析[D];哈尔滨工程大学;2013年

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