闭式C型静压气浮导轨承载力的CFD数值仿真和实验研究

发布时间：2017-11-02 13:19

  本文关键词：闭式C型静压气浮导轨承载力的CFD数值仿真和实验研究

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【摘要】：对不同供气压力与不同偏心率情况下的闭式C型气浮导轨进行CFD(计算流体力学)分析,得到其压力、速度的分布图,以及偏心率和供气压力对气浮导轨承载能力和刚度的影响规律。结果表明:偏心率越大,上气浮面的压力值会越大,下气浮面的压力值越小,上下气膜速度的差值越大;随着偏心率的增加,承载力呈增大趋势,刚度会有所降低;相同偏心率情况下,供气压力增大,承载力和刚度都会增加。对闭式C型气浮导轨的承载性能进行实验研究,实验结果与数值仿真结果吻合较好,证明了该仿真分析方法的可行性和有效性。
【作者单位】： 广东工业大学机电工程学院;
【关键词】： 气浮导轨 偏心率 承载力 刚度 激光干涉仪
【基金】：国家自然科学基金项目(50775043)
【分类号】：TH703.4
【正文快照】： 静压气体导轨是以气体作为润滑剂,在活动工作面与静止面之间产生气膜,避免二者接触的支撑件。由于其具有无摩擦、无磨损、不发热、无污染等特点,目前广泛应用于机械工业、精密仪器工业、电子工业以及航空航天等领域[1]。杨涛等人[2]对阵列式三维平面节流器进行了流体仿真,得到

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前3条

1 陈爱民;马平;龚政;;静压气浮导轨承载能力的解析法和有限元法对比分析[J];润滑与密封;2009年06期

2 杨涛;陈改革;韩宾;李磊民;;静压空气平面轴承节流器阵列的三维CFD仿真[J];系统仿真学报;2011年12期

3 ;Renishaw的新型XL-80全新轻巧型激光干涉仪测量系统[J];制造技术与机床;2007年12期

【共引文献】

中国期刊全文数据库 前6条

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2 周欢伟;;超精密机床气浮导轨的气体润滑研究[J];润滑与密封;2013年08期

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5 朱晓;陶国良;刘昊;孟德远;班伟;钱鹏飞;;气浮无摩擦气缸及气浮特性仿真[J];浙江大学学报(工学版);2014年02期

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中国博士学位论文全文数据库 前3条

1 李天箭;超精密机床多尺度集成设计方法研究[D];哈尔滨工业大学;2013年

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中国硕士学位论文全文数据库 前7条

1 辛杰;极紫外光刻机工件台动力学建模及仿真[D];哈尔滨工业大学;2010年

2 王绍腾;光刻机双驱动微动台动态特性仿真研究[D];哈尔滨工业大学;2011年

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5 吴斌;基于流固耦合方法的气浮轴承刚度优化设计与实验[D];哈尔滨工业大学;2013年

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【二级参考文献】

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2 张从鹏;刘强;;基于静压气浮导轨的直线电机高性能工作台的研制[J];机械科学与技术;2006年10期

3 徐丰仁,穆怀U，

本文编号：1131737