误差分离技术在平面镜瑞奇-康芒法检测中的应用

发布时间：2017-11-02 14:12

  本文关键词：误差分离技术在平面镜瑞奇-康芒法检测中的应用

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【摘要】：为了提高瑞奇-康芒法检测平面镜面形误差的精度,提出了利用检测系统光瞳面与被检平面镜表面的坐标映射关系插值拟合平面镜面形的方法。结合最小二乘法分析,解算了由光路调整引入的离焦误差,获得了更为真实的平面镜面形误差。理论仿真分析显示,此方法的平面镜测量误差可控制在λ/100(λ=632.8nm)量级。对口径为40mm的小口径平面镜进行了实际检测,检测过程中通过多角度旋转被测平面镜,利用坐标映射关系和幅值转换关系对测试波前进行恢复,在分离系统离焦误差后得到被检平面镜面形RMS值为0.018 6λ,与干涉仪直接检测得到的RMS值0.021λ相比,残差为0.002 4λ。实验结果证明了此种误差分离技术在瑞奇-康芒法对平面镜面形检测时的有效性与准确性。
【作者单位】： 中国科学院
【关键词】： 光学检测 平面镜 瑞奇-康芒法 误差分离 最小二乘法
【基金】：国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2012AA040503) 国家自然科学基金重点项目(No.11034007)
【分类号】：TH74
【正文快照】： 1引言大口径平面镜在空间光学、天文光学等领域有着广泛的应用。随着平面镜口径的增大,对其面形检测精度的要求也越来越高。在光学平面镜面形检测中,干涉测量法是一种常用的方法。目前,可用于平面检测的商业干涉仪的最大口径为800mm,因此对于口径超过800mm的平面镜,干涉仪无

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本文编号：1131882