大口径平面光学元件面形检测中激光光斑质心定位

发布时间：2017-11-03 08:30

  本文关键词：大口径平面光学元件面形检测中激光光斑质心定位

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【摘要】：如何快速准确计算透镜焦面上的光斑质心坐标是大口径平面光学元件面形检测系统的核心问题之一,直接决定面形检测的精度和重复性。定义一个半径为r的探测窗口,根据到中心距离建立一维卷积模板,在光斑覆盖区域中寻找窗口内能量和局部最大的位置,确定光斑有效区域;再使用传统重心法计算有效区域质心;最后应用3σ准则进行误差处理。实验结果表明,该算法检测精度为0.1像素,各指标比传统阈值加权质心定位法提高约1倍,面形测量的面形相似性和PV比阈值加权法更贴近干涉仪检测结果。目前,通过长时间的实验验证与改进,已成功运用于实际项目中。
【作者单位】： 西南科技大学计算机科学与技术学院;中国工程物理研究院激光聚变研究中心;
【关键词】： 光斑质心定位 面形检测 局部能量和 重心法 σ准则
【基金】：制造过程测试技术教育部重点实验室基金(12zxzk06)
【分类号】：TH74
【正文快照】： 0引言光学元件面形的精密检测是国家重大光学工程项目中不同姿态、不同种类、面形梯度变化大的在线光学元件正确、安全、高效运行的保证。近年来,国内外相继开展了有关高精度、大口径光学平面镜的面形检测工作,主要方法有三种:(1)基于子孔径拼接的检测技术;(2)基于角差法的检

【参考文献】

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本文编号：1135433