镜面粗糙度对远紫外望远镜能量集中度的影响
发布时间:2017-11-03 12:13
本文关键词:镜面粗糙度对远紫外望远镜能量集中度的影响
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【摘要】:远紫外空间成像设备镜面粗糙度严重影响成像质量,成像质量可用能量集中度来表征。拟用余弦相位调制光栅分析方法定性说明镜面粗糙度RMS对能量集中度的影响;通过傅里叶光学线性系统理论建立了普遍的面传递函数,得到了角度能量和能量集中度的分布情况,并以设计上达到衍射极限的1216沘(1沘=0.1nm)远紫外望远镜为对象,在镜面粗糙度RMS值远小于波长的假定情况下,得到了能量集中度与主次镜面粗糙度RMS和面自相关长度的关系,并预测了镜面粗糙度引起的分辨率误差在0.171 5″时对镜面加工的要求,即主次镜镜面RMS小于31沘,面自相关宽度大于1波长,这对于实际的加工具有指导意义。
【作者单位】: 中国科学院西安光学精密机械研究所;中国科学院大学;
【关键词】: 镜面粗糙度 位相调制光栅 能量集中度 分辨率误差
【基金】:国家自然科学基金(41176158)
【分类号】:TH743
【正文快照】: 0引言像质衰减的3个基本机理是衍射效应、几何像差和散射效应。随着波长的减小,衍射效应逐渐减弱,几何像差大致不变,而散射效应开始变得较大。散射光的来源除了因为镜面的不规则外还有光子之间的交互作用、自由电子的散射、表面等离子体的激发等,而这些散射光比较少,可以忽略,
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,本文编号:1136138
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