具有整体径向挠性的光学元件多点均匀支撑结构

发布时间：2017-11-09 04:10

  本文关键词：具有整体径向挠性的光学元件多点均匀支撑结构

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【摘要】：光刻投影物镜中透镜的面形精度是影响光学系统成像质量的关键因素之一。为满足透镜面形精度RMS值优于1~2 nm的指标要求,本文提出了一种具有整体径向挠性的透镜多点均匀支撑结构,基于自重变形和热变形对支撑块尺寸进行了优化设计,分析了透镜在优化后的支撑结构下由自重和热载荷引入的面形变化情况,结果表明:自重引起的透镜上表面面形去除power项后RMS为0.429 nm,下表面面形去除power项后RMS为0.294 nm;热载荷引起的透镜上表面面形RMS为0.409 nm,下表面面形RMS为0.063 nm,能够满足光刻投影物镜中透镜的高精度面形要求。
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室;
【基金】：国家重大专项基金资助项目(2009ZX02205)
【分类号】：TH74
【正文快照】： 0引言高精度的光刻投影物镜具有较高的成像分辨力、较小的系统波像差和畸变,对光学元件的制造公差、装配公差以及像差补偿能力等方面均提出了很高的要求[1]。光学元件的面形精度作为元件制造公差和装配公差的重要指标,需要保证重力、热载荷等工况下镜片的面形RMS值优于1~2 nm,

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