超精密表面形貌光学测量系统

发布时间：2017-11-10 17:10

  本文关键词：超精密表面形貌光学测量系统

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【摘要】：为了解决实际测量中单一测量方法存在的局限性,结合白光干涉测量技术与共聚焦测量技术,通过紧凑型部分共光路结构原则,设计并搭建了一套超精密表面形貌光学测量系统,实现微纳米几何形貌的三维重构与测量。基于C#语言与DirectX11开发组件,开发了上位机执行软件,实现了两种光学测量模式下硬件的协调控制及纳米标准样板表面形貌的三维重构。对台阶高度标定值为(98.8±0.6)nm的台阶标准样板进行测量,实验表明:用白光干涉测量模式和共聚焦测量模式分别实现了对台阶样板的大范围快速测量和小范围精密测量,10次测量的平均值分别为100.5和99.8 nm,标准差均小于2 nm,说明该系统能较好地满足微纳器件超精密表面形貌测量的要求。
【作者单位】： 中国计量大学;上海市计量测试技术研究院;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(51475335) 国家重大仪器专项资助项目(2014YQ090709)
【分类号】：TH74
【正文快照】： 0引言随着微电子技术、微机械技术和微光学技术的快速发展,制造技术不断向着超大尺寸制造以及极小尺寸制造两个极端方向发展。为了适应这一发展趋势,超精密表面形貌测量仪在具备较高的横向分辨率和纵向分辨率的同时应具备较大的测量范围。显然,单一功能的仪器已经无法满足当下

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本文编号：1167555