闭环点位置对静电悬浮加速度计性能影响研究

发布时间：2017-11-18 00:11

  本文关键词：闭环点位置对静电悬浮加速度计性能影响研究

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【摘要】：为研究差动电容式静电悬浮加速度计非线性、零偏、标度因数、噪声以及量程与闭环点位置的关系,推导了闭环点位置与上述参数关系的数学模型,分析了闭环点偏移来源。通过仿真和实验对比了闭环点调节前后系统非线性、零偏和量程,通过实验研究了闭环点位置波动对系统噪声的影响。仿真和实验结果表明,将敏感质量闭环点位置调节在机械零点附近可以降低系统非线性、零偏和系统噪声,并能提高理论量程。
【作者单位】： 清华大学精密仪器系高精度惯性仪表及系统技术教育部重点实验室;
【基金】：清华大学自主科研计划(91436107)项目资助
【分类号】：TH824.4
【正文快照】： 1引言地球重力场及重力梯度测量具有重要的科学意义和军事意义[1],如根据地球重力场变化反演冰川融化[2],以及根据重力梯度数据生成高清晰度地壳和地幔边界面(莫霍面)[3],从而有助于地震的研究与预测。静电悬浮加速度计作为实现这一测量的核心部件,其基本原理为通过检测敏感质

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前3条

1 宁津生;王正涛;;地球重力场研究现状与进展[J];测绘地理信息;2013年01期

2 刘爽;刘云峰;董景新;;静电悬浮加速度计轴间耦合误差角的在线测量[J];光学精密工程;2015年02期

3 吴天准,董景新,刘云峰;电容式微机械加速度计闭环系统的零偏[J];清华大学学报(自然科学版);2005年02期

【共引文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 任杰;樊尚春;;一种双轴电容式微机械加速度计[J];传感技术学报;2006年05期

2 戴强;王向展;罗谦;杨洪东;杨谟华;;电容式微加速度计开环模式的非线性模型[J];传感技术学报;2007年03期

3 王乐乐;王晖;刘建华;王秋良;李献;;四轴非正交位移传感器电路的设计分析[J];传感器与微系统;2012年01期

4 陆辰;李荣冰;刘建业;杭义军;;微型航姿系统中三轴MEMS加速度计组合误差建模方法[J];测试技术学报;2011年01期

5 陈U，

本文编号：1197853