亚微米高精度曲率半径测量及其不确定度分析

发布时间：2017-11-18 17:25

  本文关键词：亚微米高精度曲率半径测量及其不确定度分析

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【摘要】：针对高精度光学系统的需求,利用立式Fizeau型干涉仪,结合双频激光测长干涉仪,实现了亚微米量级的高精度曲率半径的测量。为了验证该测量系统的可靠性,分别使用两个参考镜对一系列不同曲率半径的光学零件进行了检测。对产生测量误差的主要因素进行了详细分析,以SiC小球为例,结合不确定度理论,得到测量结果的不确定度约为0.13μm(假设是正态分布,置信水平约为95%),证明该测量系统满足亚微米测量精度要求。通过三坐标测量机对同一元件的交叉检测,验证了该系统测量结果的准确性。
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室;
【基金】：国家科技重大专项(2009ZX02205)
【分类号】：TH741
【正文快照】： 1引言曲率半径是球面光学元件的重要物理属性,其准确性对光学系统的性能具有重要的影响,尤其对于利用光线追迹的方法获得精确结果的复杂光学系统,曲率半径的精确测量不仅对光学零件的制造极为重要,也是光学系统装调的基础。对于光刻机物镜[1-2]等复杂的高精密光学系统,高精度

【参考文献】

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【共引文献】

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本文编号：1200577