基于复色共焦的透明材料厚度测量数据处理方法研究

发布时间：2017-11-20 02:11

  本文关键词：基于复色共焦的透明材料厚度测量数据处理方法研究

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【摘要】：为了解决精密光学透镜制造、玻璃容器生产等透明材料相关行业对厚度检测的需求,采用复色共焦法对透明材料厚度进行检测。介绍了共焦系统测量原理,提出了测量结构方案,构建了测量实验装置,并对实验装置进行了标定。利用线性回归法对实验数据进行处理:使用线性预测函数建模,根据实测数据确定模型中各个参数,并对误差进行补偿,完善了厚度模型。实验结果表明:共焦系统的测量范围达到15 mm,测量精度为±3μm,从而证明该方法是一种高精度的在线非接触测量方法。
【作者单位】： 长春理工大学光电工程学院;
【基金】：吉林省科技发展计划项目(20120357)
【分类号】：TH821.1
【正文快照】： 0引言透明材料厚度的测量是工业生产中的关键环节,主要可分为接触式测量法和非接触式测量法。接触式测量法的量具直接接触材料产生应力,不但影响测量精度,而且容易划伤材料表面。随着光学技术和电子技术的发展,非接触测量的精度越来越高,现已成为工业生产领域的主要测量方法[1

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本文编号：1205699