瑞奇-康芒式大口径平面镜面形数据处理方法对比研究

发布时间：2017-11-20 07:08

  本文关键词：瑞奇-康芒式大口径平面镜面形数据处理方法对比研究

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【摘要】：为使瑞奇-康芒法检测结果更为真实地反映出被检平面镜的面形情况,对瑞奇-康芒检测数据处理方法进行研究。针对现有的数据模型,提出利用坐标转换关系法计算平面镜的面形误差。利用仿真验证坐标转换法的有效性并分析此方法的理论计算精度。通过对比实验结果与干涉仪直接检测结果可知,坐标转换法的实际PV检测精度优于1/20λ,RMS检测精度优于1/100λ,达到高精度检测要求。相比影响矩阵法结果,PV精度提高了0.013λ,RMS精度提高了0.003 7λ,证明坐标转换法更适用于瑞奇-康芒法数据处理分析。
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;
【基金】：国家自然科学基金(11034007)
【分类号】：TH74
【正文快照】： 基金，

本文编号：1206479