扭摆式高g值微机械加速度计的设计优化与冲击校准

发布时间：2017-11-24 12:26

  本文关键词：扭摆式高g值微机械加速度计的设计优化与冲击校准

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【摘要】：设计实现了一种扭摆式高g值微机械加速度计。微结构采用十字形扭梁减小横向效应,摆片两侧使用梳齿结构作为止档和阻尼器,6个敏感单元并联的方式提高基础电容量。有限元仿真得到表头谐振频率约为56 k Hz,前两阶模态分离比大于4,高过载能力10万g,微结构灵敏度为8.94E-6p F/g,基于玻璃-硅(Silicon On Glass,SOG)工艺流片后单侧基础电容约为3.6 p F。分析了环形二极管电容检测电路的检测带宽问题,并设计了高g值加速度计的检测电路。搭建了霍普金森杆实验系统进行高g值的冲击校准,2万g范围内非线性度2%,5 V供电下标度因数约为24.5μV/g。
【作者单位】： 清华大学精密仪器系;
【基金】：国家十二五预研基金资助项目(51309020301)
【分类号】：TH824.4
【正文快照】： 目前微机械加速度计的一种重要应用需求是高g值测量,获取高冲击过程中的加速度,用于冲击过载实验和某些特殊的军事应用场合。例如侵彻钻地武器的弹药在侵彻硬质界面的过程中,需要测量几万乃至十几万g的加速度[1-3]。高g值加速度计是侵彻过程惯性测试与控制的关键技术之一,研究

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9 胡m，

本文编号：1222270