高精度标准镜支撑结构的研究与设计

发布时间：2017-11-27 12:10

  本文关键词：高精度标准镜支撑结构的研究与设计

  更多相关文章： 标准镜 参考面 支撑结构 自重变形 有限元法

【摘要】：为了保证高精度光学元件面形检测精度,必须对干涉仪标准镜自身的面形精度进行严格控制。在考虑标准镜自重的情况下,采用有限元方法研究了不同胶点数量及分布形式、不同的镜框支撑方式对参考面面形精度的影响。根据研究结果,针对球面标准镜面形精度要优于λ/40的要求,设计了口径准150mm的标准镜的支撑方式,采用12×3点胶接、镜框底面六点的挠性支撑方式,经有限元分析得到:参考面面形的PV值为7.36 nm,RMS值为1.52 nm;并验证了温度变形较自重变形很小。结果表明,各项指标满足设计要求,证明了结构设计的合理性。
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;中国科学院大学;
【基金】：中国科学院“三期”创新工程
【分类号】：TH74
【正文快照】： 0引言现代高精度光学仪器的快速发展不仅对光学透镜的设计、加工、装配及调校提出了越来越高的要求,对光学元件的检测要求也越来越高,尤其是微电子光刻技术即深紫外短波长光刻技术的发展与应用,其光学元件的精度达到纳米量级[1]。而干涉仪是现代光学元件检测的常用仪器,它是利

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