硅V型槽表面形貌的OCT可视化测量

发布时间：2017-11-29 17:22

  本文关键词：硅V型槽表面形貌的OCT可视化测量

  更多相关文章： OCT V型槽 表面形貌 谱域 可视化

【摘要】：介绍了一种硅V型槽表面形貌测量的可视化方法,分析了谱域OCT的测量原理。利用谱域OCT实验测量系统进行了硅V型槽的成像实验,得到了硅V型槽的二维层析图像;通过分析二维层析图像,获取了硅V型槽的结构尺寸,实现了硅V型槽表面形貌的高精度可视化测量。
【作者单位】： 渭南师范学院物理与电气工程学院;陕西省X射线检测与应用研究开发中心;
【基金】：陕西省教育厅科研计划项目(15JK1252,15JK1380) 渭南师范学院科研计划项目(15ZRRC08);渭南师范学院特色学科建设项目(14TSXK07)
【分类号】：TH74
【正文快照】： 0引言硅V形槽(V-groove)是利用微机电系统(Micro-electromechanical System,MEMS)工艺制作的主流无源器件[1]。在光通讯领域,硅V型槽用于光纤阵列(Fiber Array)中的高精度定位,利用高精度三维几何尺寸的硅V型槽放置光纤,能够实现光电器件间隔的严格匹配,减少光电子器件和光纤

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本文编号：1237545