基于多体系统理论的精密检测平台空间误差建模与补偿

发布时间：2017-12-01 17:03

  本文关键词：基于多体系统理论的精密检测平台空间误差建模与补偿

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【摘要】：针对大口径光学元件精密检测平台的工作特点及影响其空间误差的各项几何误差因素,运用多体系统理论,用低序体阵列描述多体系统拓扑结构,建立一种空间误差数学模型。综合应用激光干涉仪、球杆仪和激光位移传感器等仪器设备,提出大口径光学元件精密检测平台各项几何误差和空间误差的测量方法,并对模型中所涉及的各项几何误差进行了系统分析和全面测量,对空间误差进行补偿。误差补偿实验证明所提模型正确有效,将空间误差从补偿前-70.01~22.14μm降低到补偿后-4.22~5.8μm,大大提高了精密检测平台的测量精度。
【作者单位】： 厦门大学机电工程系;
【基金】：国家自然科学基金项目(51075343) 福建省自然科学基金项目(2012J05098)
【分类号】：TH74;TP274
【正文快照】： 0引言大口径高精度光学元件,特别是非球面元件,已经广泛用于航空航天、天文及惯性约束聚变(ICF)的巨型激光装置,与此同时,对光学元件的面形精度和表面粗糙度等都提出了很高的要求[1-3]。在制造过程中,为了达到各项技术参数的要求,必须经过反复检测、反馈面形精度,从而指导修正

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前5条

1 刘延斌,金光,钟平;机载成像仿真系统的误差建模[J];兵工学报;2003年04期

2 李岩;范大鹏;;基于多体系统运动学理论的三轴转台装配误差建模分析[J];兵工学报;2007年08期

3 贺甲;田学光;张德龙;田兴志;;基于休斯敦方法的机械手误差建模与分析[J];工程设计学报;2010年06期

4 洪振宇;梅江平;赵学满;黄田;;基于球杆仪检测信息的并联机构运动学标定[J];机械工程学报;2007年07期

5 ;Research on Large Depth Diameter Ratio Ultra-precision Aspheric Grinding System[J];厦门大学学报(自然科学版);2002年S1期

中国博士学位论文全文数据库 前1条

1 田学光;测绘相机标定转台结构系统关键技术研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2010年

【共引文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 李巍;任顺清;赵洪波;;三轴转台误差对陀螺仪标定精确度的影响[J];电机与控制学报;2011年10期

2 刘博;叶东;车仁生;;火箭喷管三维运动测试的校准装置及误差分析[J];光学精密工程;2009年07期

3 张鸿;何林;刘持平;;GLGQXX高强度铝合金车削加工表面粗糙度研究[J];贵州大学学报(自然科学版);2014年02期

4 霍炬;仲小清;杨明;刘佳;;某姿态测量系统标定用转台指向误差补偿[J];哈尔滨工业大学学报;2010年01期

5 洪振宇;;可重构混联机械手——Tricept的自标定方法[J];航空学报;2009年04期

6 赵红云;丁凯;费惠佳;;V&V在反舰导弹半实物仿真中的应用[J];航天电子对抗;2011年01期

7 刘伟;赵剑波;高峰;戚开诚;;基于相对坐标的机器人末端位姿测量方法[J];机器人;2009年01期

8 孙天慧;田文杰;王辉;黄田;;基于球杆仪的三坐标并联动力头运动学标定方法[J];机械工程学报;2012年05期

9 张西龙;孙宝玉;孙建伟;刘铁军;;高精度二维转台指向误差分析[J];长春工业大学学报(自然科学版);2012年04期

10 贾英俊;;三轴转台误差对陀螺仪标定精确度的影响[J];科技传播;2013年01期

中国博士学位论文全文数据库 前10条

1 张红良;陆用高精度激光陀螺捷联惯导系统误差参数估计方法研究[D];国防科学技术大学;2010年

2 焦鹏;导弹制导仿真系统VV&A理论和方法研究[D];国防科学技术大学;2010年

3 周擎坤;柔顺直线导向与缓冲机构设计问题研究[D];国防科学技术大学;2011年

4 祝永坚;微光景象匹配基准图生成技术研究[D];南京理工大学;2007年

5 李岩;光电稳定跟踪装置误差建模与评价问题研究[D];国防科学技术大学;2008年

6 陈书涵;螺旋锥齿轮磨削误差产生机制及修正技术研究[D];中南大学;2009年

7 苏东风;高精度标定转台光栅测角系统关键技术研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2011年

8 苏拾;气象用太阳辐射计量仪表检定系统研究[D];长春理工大学;2012年

9 周京博;非回转对称微结构表面超精车削轨迹生成及形状误差评价[D];哈尔滨工业大学;2013年

10 周晓尧;光电探测系统目标定位误差分析与修正问题研究[D];国防科学技术大学;2011年

中国硕士学位论文全文数据库 前10条

1 夏斯;三轴测试转台精度特性分析和控制系统设计[D];哈尔滨工业大学;2010年

2 常河;新型5自由度并联抛光机床误差分析与运动学标定的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年

3 解亚非;TK6932超重型数控落地铣镗床主轴箱精度预测模型研究[D];燕山大学;2011年

4 郭联合;6PUS-UPS并联机床运动学标定与实验研究[D];燕山大学;2011年

5 张岳飞;680燃机转子装配变形分析与控制研究[D];上海交通大学;2011年

6 张世强;某武器系统平行度校准装置的控制系统设计[D];哈尔滨工业大学;2011年

7 孙国燕;超硬V形槽结构精密磨削加工应力仿真及实验研究[D];哈尔滨工业大学;2011年

8 孙天慧;一种三自由度并联动力头—A3头的运动学标定方法研究[D];天津大学;2012年

9 郭志民;平面5R并联机器人轨迹规划和标定的研究[D];燕山大学;2012年

10 南倩;工业机器人的局部标定研究[D];北京邮电大学;2012年

【二级参考文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 嵇国金,马奎,王磊;微纳定位/进给技术研究现状[J];微纳电子技术;2003年05期

2 张从鹏;刘强;;直线电机气浮精密定位平台设计与控制[J];北京航空航天大学学报;2008年02期

3 秦宇辉,辛洪兵,李增,肖亚平;谐波齿轮减速器传动性能的实验研究[J];北京工商大学学报(自然科学版);2004年03期

4 蒋蔚;周彦伟;梁波;;配对角接触轴承刚度和摩擦力矩分析计算[J];轴承;2006年08期

5 吴南星,胡如夫,孙庆鸿;数控车床丝杠进给系统刚度对定位精度的影响[J];中国工程科学;2004年09期

6 凌宁;;大型电影经纬仪的底座与可变形调平机构[J];光学工程;1983年03期

7 艾述伦;;778光电经纬仪水平轴系机械装配方法及误差[J];光学工程;1986年02期

8 陆国英;;778光电经纬仪水平轴系的设计、安装与检测[J];光学工程;1989年04期

9 姬伟;李奇;杨海峰;许波;;精密光电跟踪转台的设计与伺服控制[J];光电工程;2006年03期

10 陆德基,范天全,谢长文,曹学东,耿丽红;排列互比法用于超精测角的研究[J];光电工程;1996年05期

中国硕士学位论文全文数据库 前4条

1 刘玉荣;高速进给单元刚度与定位精度的研究[D];广东工业大学;2000年

2 陶惠峰;超精密微位移系统研究[D];浙江大学;2003年

3 董建国;数控机床伺服系统刚度对定位精度影响的研究[D];兰州理工大学;2007年

4 钟于义;超低速转台控制方法的研究与实现[D];哈尔滨工业大学;2007年

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前2条

1 粟时平,李圣怡;基于多体系统运动学理论的坐标测量机误差自动建模[J];机械设计与制造;2002年04期

2 赵强;阎绍泽;;光刻机精密运动平台的几何及运动误差建模[J];清华大学学报(自然科学版);2010年02期

中国硕士学位论文全文数据库 前1条

1 曹建国;基于向量键合图的平面多体系统建模方法研究[D];齐齐哈尔大学;2012年

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本文编号：1241794