基于多体系统理论的精密检测平台空间误差建模与补偿
本文关键词:基于多体系统理论的精密检测平台空间误差建模与补偿
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【摘要】:针对大口径光学元件精密检测平台的工作特点及影响其空间误差的各项几何误差因素,运用多体系统理论,用低序体阵列描述多体系统拓扑结构,建立一种空间误差数学模型。综合应用激光干涉仪、球杆仪和激光位移传感器等仪器设备,提出大口径光学元件精密检测平台各项几何误差和空间误差的测量方法,并对模型中所涉及的各项几何误差进行了系统分析和全面测量,对空间误差进行补偿。误差补偿实验证明所提模型正确有效,将空间误差从补偿前-70.01~22.14μm降低到补偿后-4.22~5.8μm,大大提高了精密检测平台的测量精度。
【作者单位】: 厦门大学机电工程系;
【基金】:国家自然科学基金项目(51075343) 福建省自然科学基金项目(2012J05098)
【分类号】:TH74;TP274
【正文快照】: 0引言大口径高精度光学元件,特别是非球面元件,已经广泛用于航空航天、天文及惯性约束聚变(ICF)的巨型激光装置,与此同时,对光学元件的面形精度和表面粗糙度等都提出了很高的要求[1-3]。在制造过程中,为了达到各项技术参数的要求,必须经过反复检测、反馈面形精度,从而指导修正
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,本文编号:1241794
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