Mueller矩阵成像偏振仪的误差标定和补偿研究

发布时间：2017-12-03 07:20

  本文关键词：Mueller矩阵成像偏振仪的误差标定和补偿研究

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【摘要】：Mueller矩阵成像偏振仪是测量材料和器件偏振特性的重要仪器,也是测量浸没光刻机偏振像差的检测仪器,该偏振仪由偏振态产生器和偏振态分析器组成。其组成中的λ/4波片相位延迟量误差及其快轴方位角误差与偏振片透光轴的方位角误差是影响Mueller矩阵成像偏振仪测量精度的主要误差源。通过对本课题组研制的Mueller矩阵成像偏振仪中5个主要误差因素进行标定和补偿,显著提高了其测量精度。利用傅里叶分析法获得各项傅里叶系数,并根据各个误差与傅里叶系数的关系,实现了这些误差的标定,即达到对Mueller矩阵成像偏振仪误差标定的目的。根据标定出的误差大小对Mueller矩阵成像偏振仪进行了补偿。实验结果表明,通过对器件参数误差标定和补偿,Mueller矩阵成像偏振仪的测量精度由0.2015提高到0.1051,提高了47.84%。最后用该Mueller矩阵成像偏振仪对一个物镜系统的偏振像差进行了测量,重复测量精度达到了1.1%。
【作者单位】： 北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室;
【基金】：国家自然科学基金重点项目(60938003) 国家科技重大专项 北京高等学校青年英才计划
【分类号】：TH74
【正文快照】： 1引言随着光刻机投影物镜[1-3]数值孔径(NA)的不断增加,光刻曝光系统引入了偏振照明,然而照明系统和投影物镜中存在诸多影响光偏振态的因素,如光学材料的本征双折射及应力双折射、膜层的吸收和散射效应[4]等,都会导致照明和成像光束的偏振态发生变化,从而影响投影物镜的成像质

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本文编号：1247889