不同对准误差下的小孔衍射波面误差分析

发布时间：2017-12-04 22:14

  本文关键词：不同对准误差下的小孔衍射波面误差分析

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【摘要】：点衍射干涉仪中小孔对准误差是影响衍射参考波面质量最主要的误差源。基于瑞利索末菲矢量衍射理论,建立了非傍轴高斯光束经小孔衍射的严格数学描述,对不同对准误差下的小孔衍射波面误差进行了分析,在分析中特别考虑了会聚光斑大小的影响。研究表明:小孔对准误差的引入使得衍射波面偏差迅速增大,且衍射波面偏差随对准误差的增大呈线性增长;相同对准误差下,衍射波面偏差随会聚光斑半径的增大而减小,要获得同等衍射波面偏差,允许的对准误差随会聚光斑的增大呈近同倍数增长。给出了0.5~3μm小孔在不同会聚光斑直径和小孔对准误差下的衍射波面误差分布数据,研究结果可为点衍射干涉仪中会聚透镜的选取、小孔对准精度要求的确定以及小孔衍射波面误差的估计提供重要参考数据。
【作者单位】： 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室;西安工业大学光电工程学院;
【基金】：国家自然科学基金(51275398,90923001) 教育部科学技术研究重大项目(311001) “高档数控机床与基础制造装备”科技重大专项(2011ZX04004-061) 高等学校学科创新引智计划(B12016) 长江学者和创新团队发展计划(IRT1033)
【分类号】：TH744.3
【正文快照】： 1引言点衍射干涉测量法是近年来为满足激光核聚变、极紫外光刻等领域对球面和非球面镜超精面形检测需求而发展起来的一种新方法,该方法通过微米尺寸小孔的衍射产生近似理想的球面波作为参考面,代替传统球面干涉仪中的标准实物镜头,所构成的点衍射干涉仪[1-6](PDI),理论上可达

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本文编号：1252536