基于单一敏感质量的三轴电容加速度计的设计

发布时间：2017-12-15 23:23

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【摘要】：设计了一种单一敏感质量的三轴电容加速度计。该器件采用全差分电容的检测方法,满足了灵敏度的设计要求并解决了三轴的交叉耦合问题,其独特的单一敏感质量结构减小了器件的整体尺寸,降低了成本。器件由外延多晶硅工艺实现了18μm的厚度制作,降低了热机械噪声,增大了检测电容,提高了灵敏度、分辨率和可靠性。ANSYS仿真结果表明,器件在3个轴向的灵敏度一致性好,抗干扰,测试结果和理论分析相符。该加速度计结构工艺简单,在消费电子领域有较好的应用前景。
【作者单位】： 苏州大学机器人与微系统研究中心&苏州纳米科技协同创新中心;
【基金】：国家高技术研究发展计划(“八六三”计划)资助项目(2011AA040404) 高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20133201110009) 新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET-13-0923)
【分类号】：TH824.4
【正文快照】： 引言随着微机械电子系统技术的不断成熟,硅微机械加速度计成功地在汽车气囊、防抱死制动系统、手机、平板、游戏手柄和航模等领域得到广泛应用[1-3]。电容式微加速度计以其温度漂移效应小、温度稳定性好、结构相对简单、单位芯片面积灵敏度高、功耗低、易于构成高精度的力平衡

【参考文献】

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【共引文献】

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