气囊抛光过程的运动精度控制

发布时间：2017-12-16 06:28

  本文关键词：气囊抛光过程的运动精度控制

  更多相关文章： 光学加工 气囊抛光 运动精度 球面抛光 平面抛光

【摘要】：针对用于球面、非球面光学元件超精密光学加工的气囊抛光技术,提出了一套控制抛光过程中气囊运动精度的方法。该方法通过控制加工单元的温度,保证抛光过程中设备运动精度达到50μm;使用坐标传递法,使检测数据二维方向对准不确定度达到0.30~0.70mm。另外,基于磨头去除量估计与反馈修正法,提高精抛过程面形误差收敛效率。最后,通过磨头探测校准法,将磨头与加工工件法向位置精度提高至10μm。实际抛光实验显示:使用运动精度控制法在280mm口径的平面精密抛光中获得的面形加工精度为0.8nm(RMS),在160mm口径的凹球面精密抛光中获得的面形加工结果为1.1nm(RMS),实现了超高精度面形修正的目的,为超高精度球面、非球面光学元件加工提供了一套行之有效的方法。该方法同样适用于其他接触式小磨头数控抛光方法。
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室超精密光学工程研究中心;
【基金】：国家科技重大专项资助项目(No.2009ZX02205)
【分类号】：TH74
【正文快照】： 1引言随着科技的发展,超精密光学元件在光学、电子、航空航天等诸多领域中的应用日益广泛,并且对光学元件的全频段面形精度要求越来越高,尤其在深紫外与极紫外高精度光学成像系统中,单个光学镜片的面形精度已要求达到纳米、亚纳米量级。同时,由于非球面光学元件具有可以减少系

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 薛栋林,张忠玉,张学军;一种中小口径非球面元件数控抛光技术[J];光学精密工程;2005年02期

2 彭小强;戴一帆;唐宇;;基于灰色预测控制的磁流变抛光液循环控制系统[J];光学精密工程;2007年01期

3 李锐钢;郑立功;张峰;薛红梅;张学军;;大口径高陡度离轴非球面精磨阶段的数控加工[J];光学精密工程;2007年05期

4 王孝坤;王丽辉;邓伟杰;郑立功;;用非零位补偿法检测大口径非球面反射镜[J];光学精密工程;2011年03期

5 史永杰;郑堤;王龙山;胡利永;;非球面精密数控研抛中研抛力的控制[J];光学精密工程;2011年05期

6 戴一帆;周林;解旭辉;焦长君;李圣怡;;应用离子束进行光学镜面确定性修形的实现[J];光学学报;2008年06期

7 张伟;李洪玉;于国_g;;光学元件超精密气囊抛光关键技术研究现状[J];光学学报;2009年01期

8 李洪玉;张伟;于国_g;;空间光学元件超精密气囊抛光的去除特性研究[J];光学学报;2009年03期

9 张健;代雷;王飞;王立朋;;小磨头自适应抛光抑制高精度非球面中频误差[J];光学学报;2013年08期

10 张峰;;非球面碳化硅表面硅改性层的数控化学机械抛光[J];光学精密工程;2013年12期

【共引文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 姜伟;申德新;王立波;李刚;赵汝成;;大口径光学反射镜化学镀镍工艺及质量管理[J];电镀与涂饰;2008年10期

2 吴建昌;师五喜;;几种常见的表面粗糙度仪[J];仪器仪表用户;2009年03期

3 周林;戴一帆;解旭辉;李圣怡;;计算机控制抛光中基于等面积增长螺旋线的加工路径[J];国防科技大学学报;2009年04期

4 吴冬良;戴一帆;王贵林;周林;焦长君;;离子束加工误差对散射损失的影响研究[J];国防科技大学学报;2009年06期

5 廖文林;戴一帆;周林;王建敏;袁征;解旭辉;;离子束抛光加工矩形离轴非球面镜[J];国防科技大学学报;2011年01期

6 刘军汉;熊长新;闫德全;周杨;;高精度中小口径非球面修抛技术研究[J];光学与光电技术;2010年01期

7 牛海燕;张学军;;φ124 mm口径碳化硅质非球面镜面数控研抛技术研究[J];光学精密工程;2006年04期

8 谢晋;阮兆武;;光学自由曲面反射镜模芯的镜面成型磨削[J];光学精密工程;2007年03期

9 仇谷烽;郭培基;懈滨;杨晓飞;王毅;;接触式非球面轮廓测量的数据处理模型[J];光学精密工程;2007年04期

10 贾立德;郑子文;戴一帆;李圣怡;;摆臂式非球面轮廓仪的原理与试验[J];光学精密工程;2007年04期

中国重要会议论文全文数据库 前1条

1 闫锋;范镝;张斌智;李锐刚;殷龙海;张学军;;一种SiC非回转对称非球面光学元件的加工与检测技术研究[A];科技创新与节能减排——吉林省第五届科学技术学术年会论文集（上册）[C];2008年

中国博士学位论文全文数据库 前10条

1 史永杰;基于磁流变力矩伺服的非球面数控研抛力—位—姿解耦技术研究[D];吉林大学;2012年

2 周林;光学镜面离子束修形理论与工艺研究[D];国防科学技术大学;2008年

3 武建芬;离子束加工技术研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2010年

4 李国;基于刀具摆动进给的非球曲面超精密车削方法及系统研究[D];哈尔滨工业大学;2010年

5 宋剑锋;曲面光学零件气囊抛光工艺参数优化及其相关技术研究[D];哈尔滨工业大学;2009年

6 沙树静;基于磁流变力矩伺服的非球面气囊抛光技术研究[D];吉林大学;2012年

7 张利;模具曲面气囊进动抛光技术及实现研究[D];浙江工业大学;2012年

8 司徒渝;基于创新体系的德阳装备制造业生产性服务型信息化平台研究[D];西南交通大学;2012年

9 刘振宇;大口径非球面反射镜组合加工技术驻留时间算法研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2013年

10 谷勇强;投影光刻物镜光学元件的离子束精修技术研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2013年

中国硕士学位论文全文数据库 前10条

1 林永勇;超声波磁流变复合抛光面形误差修正技术研究[D];哈尔滨工业大学;2010年

2 杨允利;大气等离子体加工数控方法研究[D];哈尔滨工业大学;2011年

3 任定世;确定性光学加工的中高频误差分布特性与修形方法研究[D];国防科学技术大学;2011年

4 陈曦;计算机控制抛光去除函数优化分析[D];苏州大学;2011年

5 陈伟强;连续进动气囊抛光技术研究[D];浙江工业大学;2012年

6 卢明明;非球面光学零件抛光关键技术的研究[D];长春工业大学;2011年

7 姚少杰;改进的动态矩阵控制算法研究[D];南京信息工程大学;2008年

8 张前平;照相镜头设计中非球面的应用[D];湖南师范大学;2008年

9 何洋;基于刚性散体的抛光头柔度控制与抛光技术研究[D];浙江工业大学;2008年

10 袁征;保形光学头罩磨削抛光设备研制及其磁流变抛光基础研究[D];国防科学技术大学;2008年

【二级参考文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 陈志刚;陈杨;陈爱莲;;硅晶片化学机械抛光中的化学作用机理[J];半导体技术;2006年02期

2 刘惠兰,郝群,朱秋东,沙定国;利用部分补偿透镜进行非球面面形测量[J];北京理工大学学报;2004年07期

3 王权陡,余景池,张学军,张忠玉;离轴非球面最接近球面半径及非球面度的求解[J];光电工程;2000年03期

4 侯溪,伍凡,吴时彬,陈强;以环形子孔径扫描法测量大口径非球面的研究[J];光电工程;2004年09期

5 雷柏平;伍凡;陈强;;大口径非球面Ronchi光栅测量方法[J];光电工程;2007年04期

6 谢意;陈强;伍凡;邱传凯;侯溪;张晶;;凹非球面检测的双计算全息图设计及制作[J];光电工程;2008年06期

7 王伟波;谭久彬;;非球面非零位拼接测量的对准误差模型[J];光电子.激光;2010年02期

8 郎治国;谭久彬;;大口径非球面的超精密回转扫描测量技术研究[J];光电子.激光;2010年06期

9 袁哲俊;;精密和超精密加工技术的新进展[J];工具技术;2006年03期

10 张峰,余景池,张学军,王权陡;磁流变抛光技术[J];光学精密工程;1999年05期

中国博士学位论文全文数据库 前3条

1 张蓉竹;ICF系统光学元件高精度波前检测技术研究[D];四川大学;2003年

2 金明生;模具自由曲面气囊抛光机理及工艺研究[D];浙江工业大学;2009年

3 田超;非球面非零位环形子孔径拼接干涉检测技术与系统研究[D];浙江大学;2013年

中国硕士学位论文全文数据库 前1条

1 张银东;机器人辅助模具气囊抛光运动控制和轨迹规划研究[D];浙江工业大学;2009年

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 杨海卉;从一则技改实例谈提高链传动运动精度的一种措施[J];芜湖职业技术学院学报;2001年03期

2 王西珍;李言;成刚虎;史利花;;模切机主切机构运动精度可靠度的求解[J];西安理工大学学报;2011年02期

3 曾经梁;连杆角位移再现机构的模糊稳健优化设计方法[J];机械科学与技术;2003年06期

4 余成发;王勇;;全自动模切机清废机构运动精度可靠性分析[J];包装工程;2009年03期

5 张均富;龙进;;不确定性下平面四杆转向机构的运动精度分析[J];西华大学学报(自然科学版);2011年03期

6 周传宏,孙健利;滚动直线导轨副运动精度研究[J];机械设计;1998年04期

7 拓耀飞,陈建军,徐亚兰,刘德平;随机参数连杆机构的静动态运动精度可靠性分析[J];电子机械工程;2004年04期

8 崔利杰;吕震宙;王奇;;概率密度演化方法在机构运动精度可靠性中的应用研究[J];机械科学与技术;2010年05期

9 师忠秀,王锋;机构运动精度可靠性分析方法的研究[J];机械科学与技术;1997年01期

10 狄岚,狄锦如;应用误差均化原理提高机械运动精度[J];制造技术与机床;1999年08期

中国重要会议论文全文数据库 前2条

1 汪逸群;刘伟;陈伟;颜昌翔;;指向镜运动精度分析[A];第九届全国信息获取与处理学术会议论文集Ⅰ[C];2011年

2 方芳;赵清;;数控机床运动精度的研究[A];科技创新与产业发展（A卷）——第七届沈阳科学学术年会暨浑南高新技术产业发展论坛文集[C];2010年

中国硕士学位论文全文数据库 前2条

1 张兴群;三点支撑式大口径反射镜架装置的研究[D];哈尔滨工业大学;2008年

2 郭哲锋;液压支架机构运动精度可靠性的分析与仿真[D];郑州大学;2011年

，

本文编号：1295050