基于激光干涉仪的垂直轴宏微复合平台直线度测量及误差分析

发布时间：2017-12-18 03:32

  本文关键词：基于激光干涉仪的垂直轴宏微复合平台直线度测量及误差分析

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【摘要】：设计了一个垂直轴宏微复合平台,宏动台采用交叉滚柱导轨,直线电机驱动,微动台采用柔性铰链导向机构,压电陶瓷驱动,对微动台固有频率进行了测试,其固有频率为351 Hz,响应速度快。然后基于激光干涉仪搭建了宏微复合平台直线度测量系统,获得了-100 mm~100 mm的直线度误差值,分别用两端点连线法以及最小二乘法分析了实验数据,得到了平台导轨的直线度误差25.32μm。最后测试了微动台的低频动态位移输出,可达56.59μm,能满足宏动台直线度补偿要求,该研究为直线度误差补偿提供了依据。
【作者单位】： 广东工业大学机电工程学院广东省微纳加工技术与装备重点实验室;
【基金】：广东省引进创新科研团队计划(201001G0104781202) 广东省科技计划资助项目(2012B091000082,2011A090200119)
【分类号】：TH744.3
【正文快照】： 精密工程涉及到微电子制造、光电测量仪器、各种超精密加工等领域,既是先进科学技术的一个综合体现,也从一个方面代表着国家的综合实力。精密定位技术是精密工程的关键技术之一,定位系统在各种精密机械设备中都起到关键性的作用[1]。目前超精密定位工作台可以分为单层工作台和

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本文编号：1302658