MEMS加速度计可靠性评价技术

发布时间：2018-01-05 21:31

  本文关键词：MEMS加速度计可靠性评价技术　出处：《微纳电子技术》2014年03期 　论文类型：期刊论文

  更多相关文章： MEMS加速度计 可靠性评价 失效模式 失效机理 实验验证

【摘要】：MEMS加速度计是动作识别设备、姿态控制设备等电子设备的核心器件,其功能失效会严重影响设备的可靠性。而目前国内外还没有MEMS器件的可靠性实验标准,这在一定程度上制约了MEMS加速度计的应用与发展。针对该现状,深入研究了MEMS加速度计敏感部件的失效模式及失效机理,得到了典型环境应力与器件失效的关系,分析了加载环境应力可能导致器件失效的环境实验,并选取了相应的MEMS加速度计产品进行了可靠性实验验证,得出了MEMS加速度计可靠性评价的初步试行方案。
[Abstract]:MEMS accelerometer is the core device of electronic devices such as motion recognition equipment, attitude control device and so on. The failure of its function will seriously affect the reliability of the equipment, but at present there is no reliability test standard for MEMS devices at home and abroad. This restricts the application and development of MEMS accelerometers to some extent. In view of this situation, the failure mode and failure mechanism of sensitive components of MEMS accelerometers are deeply studied. The relationship between the typical environmental stress and the device failure is obtained, and the environmental experiment that the loading environmental stress may lead to the device failure is analyzed, and the reliability of the corresponding MEMS accelerometer product is verified. The preliminary trial scheme for reliability evaluation of MEMS accelerometer is obtained.
【作者单位】： 中国电子科技集团公司第十三研究所;
【分类号】：TH824.4
【正文快照】： 0引言MEMS加速度计是微机电系统(MEMS)领域研究最早的器件之一,也是最早应用的微机电器件。该类器件广泛应用于加速度计算、振动检测、动作识别、姿态控制、安防报警、消费应用和状态记录等领域。随着MEMS加速度计在我国诸多领域的逐步8912014年3月微纳电子技术第51卷第3期应

【参考文献】

相关期刊论文 前2条

1 王佩瑶;唐洁影;余存江;恩云飞;师谦;;MEMS微悬臂梁在冲击下的粘附失效预测[J];传感技术学报;2006年05期

2 雷昕;谢劲松;;MEMS惯性传感器可靠性试验方法研究[J];电子产品可靠性与环境试验;2009年06期

【共引文献】

相关期刊论文 前4条

1 雷昕;谢劲松;;MEMS惯性传感器可靠性试验方法研究[J];电子产品可靠性与环境试验;2009年06期

2 黄军辉;杨旭志;陈述官;廖中文;;MEMS传感器技术在汽车上的应用研究与展望[J];农业装备与车辆工程;2010年09期

3 黄军辉;陈述官;廖中文;王海林;;MEMS传感器在汽车电子上的应用研究与展望[J];拖拉机与农用运输车;2011年02期

4 胡长德;赵美蓉;刘颖伟;朱砂;;压电微悬臂梁共振频率的检测系统[J];压电与声光;2009年06期

相关博士学位论文 前1条

1 樊康旗;MEMS黏着接触特性研究[D];西安电子科技大学;2007年

相关硕士学位论文 前4条

1 李孝涛;微倾斜悬臂梁在振动冲击载荷下的可靠性分析[D];国防科学技术大学;2010年

2 薛海棠;基于神经网络模型的微悬臂梁力学特性研究[D];中北大学;2009年

3 黄建林;旋转弹用MEMS陀螺微小电容检测电路设计[D];中北大学;2013年

4 连兴峰;COB及叠层热致封装效应对微构件特性的影响[D];福建农林大学;2013年

【二级参考文献】

相关期刊论文 前10条

1 方绪文,唐洁影,黄庆安;MEMS器件在冲击下的可靠性[J];微纳电子技术;2004年07期

2 王佩瑶;唐洁影;余存江;恩云飞;师谦;;MEMS微悬臂梁在冲击下的粘附失效预测[J];传感技术学报;2006年05期

3 李志信,罗小兵,过增元;MEMS在惯性测量中的应用[J];传感器技术;2001年07期

4 吕良;邓中亮;刘玉德;;汽车电气系统MEMS传感器可靠性设计研究[J];电气应用;2007年08期

5 张海涛,阎贵平;MEMS加速度传感器的原理及分析[J];电子工艺技术;2003年06期

6 孟军,茅盘松;微硅加速度传感器的发展[J];电子器件;1999年04期

7 石庚辰;微机械加速度传感器及应用[J];测控技术;2003年03期

8 刘云峰;董景新;;静电力反馈微加速度计的吸合失效[J];清华大学学报(自然科学版);2006年05期

9 王俊云;;热对流式加速度传感器原理及应用[J];世界电子元器件;2006年03期

10 高健飞;熊继军;郭涛;石云波;;微加速度计在恶劣环境下的可靠性[J];微计算机信息;2007年35期

相关会议论文 前1条

1 王益;董景新;刘云峰;刘冬宁;;梳齿式微硅加速度计的结构失效及设计改进[A];中国航空学会控制与应用第十二届学术年会论文集[C];2006年

相关硕士学位论文 前1条

1 祁晓瑾;MEMS高g值加速度传感器研究[D];中北大学;2007年

【相似文献】

相关期刊论文 前10条

1 高健飞;熊继军;郭涛;范波;;微加速度计在冲击环境下的可靠性研究[J];传感技术学报;2008年02期

2 马喜宏;周鹏斌;李建军;;高g值微加速度计在冲击环境下的可靠性[J];测试技术学报;2010年05期

3 毛红祥;军用光学系统的可靠性研究[J];应用光学;1997年03期

4 李世林;白露;;基于统计推断的动态轨道衡应用可靠性评价方法[J];铁道技术监督;2009年08期

5 张文明;孟光;;MEMS可靠性与失效分析[J];机械强度;2005年06期

6 孙远程;杨波;彭勃;赵龙;张茜梅;;微机械高冲击传感器的一种失效模式研究[J];传感技术学报;2006年05期

7 段晓敏;李杰;刘文怡;沙承贤;;基于MEMS加速度计的数字倾角测量仪的设计[J];电子设计工程;2009年08期

8 邢丽;李荣冰;刘建业;杭义军;;3D-MEMS加速度计性能试验研究[J];仪表技术与传感器;2011年01期

9 李童杰;董景新;刘云峰;孔星炜;赵长德;;MEMS加速度计敏感元件测试仪的设计与实现[J];国外电子测量技术;2008年04期

10 徐叶雷;方勇;;基于MEMS加速度计的车用自动呼救系统[J];传感技术学报;2009年06期

相关会议论文 前5条

1 姜理利;唐洁影;;表面微加工悬臂梁断裂失效可靠度预测[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）[C];2005年

2 郭永献;梁丽萍;张大兴;;RF MEMS开关可靠性及失效分析[A];2007年中国机械工程学会年会论文集[C];2007年

3 刘建侯;;仪表型安全系统功能安全评估的应用研究[A];第七届工业仪表与自动化学术会议论文集[C];2006年

4 林震;姜同敏;程永生;胡斌;;阿伦尼斯模型研究[A];中国工程物理研究院第七届电子技术青年学术交流会论文集[C];2005年

5 刘保林;马喜宏;孟召丽;;微加速度计在温度、湿度、振动三综合环境下的失效机理分析[A];第三届全国虚拟仪器大会论文集[C];2008年

相关硕士学位论文 前2条

1 刘延武;呼吸机失效数据分析[D];中国人民解放军医学院;2013年

2 林宙峰;硅基梳齿式MEMS电容式加速度计的失效与DPA研究[D];华南理工大学;2010年

，

本文编号：1384931