基于闭环点位置控制的硅微梳齿式加速度计温漂抑制方法

发布时间：2018-01-06 11:28

本文关键词：基于闭环点位置控制的硅微梳齿式加速度计温漂抑制方法　出处：《中国惯性技术学报》2014年01期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：环境温度的变化会造成硅微加速度计检测电路输出漂移,从而使加速度计敏感质量的闭环点位置产生漂移。通过分析闭环点位置对加速度计标度因素K1和零偏K0的影响,证明了闭环点位置漂移是造成零偏K0温漂的主要因素和标度因素K1温漂的次要因素。提出了加速度计闭环点位置控制方法,通过在环内加入控制电压可使闭环点始终工作于稳定位置。试验结果证明,该方法可显著降低零偏K0的温漂,闭环点始终位于零反馈位置时零偏K0的温漂系数可降低一个数量级,且温漂滞环可被压缩至±1 mV(±7.77 mg)以内。
[Abstract]:The change of ambient temperature will cause the output drift of silicon micro-accelerometer detection circuit. The effect of closed loop position on the scaling factor K1 and zero offset K0 of accelerometer is analyzed. It is proved that the position drift of closed loop points is the main factor of temperature drift of zero offset K0 and the minor factor of temperature drift of scale factor K1. A closed loop point position control method of accelerometer is proposed. By adding control voltage to the loop, the closed loop point can always work in a stable position. The experimental results show that the temperature drift of zero offset K0 can be significantly reduced by this method. The temperature drift coefficient of zero bias K0 can be reduced by one order of magnitude when the closed loop is always located at zero feedback position, and the hysteresis loop of temperature drift can be compressed to 卤1 MV (卤7.77 mg).
【作者单位】：清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室;总参陆航研究所;
【基金】：总装“十二五”预研项目(513090203**)
【分类号】：TH824.4
【正文快照】： 硅微加速度计按照敏感元件检测方式可分为:电容式、压阻式、电感式、压电式、热对流式、谐振梁式、隧道电流式、冷原子式等[1]。与其他类型的传感器相比MEMS惯性仪表具有尺寸小、可靠性高、低功耗、低成本以及环境适应性强等优点,在民用和军事的诸多领域得到了广泛的应用[2-5

【参考文献】