激光外差干涉仪相位计的设计

发布时间：2018-01-06 17:23

  本文关键词：激光外差干涉仪相位计的设计　出处：《激光技术》2014年01期 　论文类型：期刊论文

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【摘要】：外差信号的比相处理是决定外差干涉仪精度、分辨率等性能的重要因素。为了解决比相计的分辨率和检测速度之间的矛盾,采用比相方法进行了测量原理、应用特点及局限性的理论分析,给出了相应的解决方案。结果表明,基于现场可编程门阵列的整周期采样可以提高自相关方法的测量精度,混频过零检测方法可以提高测量速度。
[Abstract]:Phase contrast processing of heterodyne signal is an important factor to determine the accuracy and resolution of heterodyne interferometer. The results show that the whole period sampling based on field programmable gate array can improve the measurement accuracy of autocorrelation method. The measurement speed can be improved by mixing zero crossing detection method.
【作者单位】： 上海理工大学光电信息与计算机工程学院;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(51075280) 上海市大学生创新创业训练计划资助项目(201210252025)
【分类号】：TH744.3
【正文快照】： 引言激光外差干涉是在干涉测量的基础上,于20世纪60年代开始提出。由于干涉时使测量光与参考光产生一个微小频率差Δω,使得干涉信号成为频率为Δω的正弦信号。通过检测不同点此正弦信号的相位即可测得物体表面的形状、位置偏移等。由于其测量分辨率高、准确度高及非接触等特

【参考文献】

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【共引文献】

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本文编号：1388852