激光合成波长纳米位移测量干涉仪的研制

发布时间：2018-01-13 12:51

  本文关键词：激光合成波长纳米位移测量干涉仪的研制　出处：《机械工程学报》2016年03期 　论文类型：期刊论文

  更多相关文章： 干涉仪 位移测量 干涉条纹 溯源性 测量范围 参考信号 仪器化 折射率测量 相关技术 非线性误差

【摘要】：正本文采用合成波长干涉条纹细分原理,提出激光合成波长纳米位移测量干涉仪的研制,以检测参考镜毫米或微米级的位移来表征测量镜纳米级的微小位移,并利用单波长干涉信号作为标记参考信号,在同一干涉仪中实现了毫米量程测量范围和纳米级精度位移的同时测量,且具有米溯源性。详细研究了激光合成波长干涉实现大范围纳米位移测量的方法及其仪器化的相关技术,主要研究工作和创新点如下。
[Abstract]:Is the synthetic wavelength interference fringe subdivision principle, development of laser synthetic wavelength displacement measurement interferometer is proposed, the displacement detection reference mirror mm or micron to nanometer grade micro displacement measuring microscope characterization, and the use of single wavelength interference signal as a reference signal marker, in the same interferometer can measure mm the range of measurement range and nano precision displacement at the same time, and has rice traceability. A detailed study of the laser synthetic wavelength related technologies to achieve a wide range of methods of nano displacement measurement and instrument of interference, the main research work and innovations are as follows.

【作者单位】： 浙江理工大学;
【分类号】：TH744.3
【正文快照】： 本文采用合成波长干涉条纹细分原理,提出激光合成波长纳米位移测量干涉仪的研制,以检测参考镜毫米或微米级的位移来表征测量镜纳米级的微小位移,并利用单波长干涉信号作为标记参考信号,在同一干涉仪中实现了毫米量程测量范围和纳米级精度位移的同时测量,且具有米溯源性。详细

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