红外线治疗仪中宽波段带通滤光片的研究

发布时间：2018-03-02 22:05

  本文选题：带通滤光片　切入点：膜系设计　出处：《光子学报》2015年03期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：研究了一种用于红外线治疗仪的新型滤光片.该滤光片通过对红外线治疗仪光源所发出的光进行选择性滤波,能够降低部分波段光的承载能量,提高治疗仪的安全使用性能.针对红外线治疗仪对滤光片的使用要求,选择Ti3O5和SiO2作为高低折射率材料,采用电子束加热蒸发方式,配合离子辅助淀积技术,利用石英晶控控制法对膜层厚度进行监控,通过反复优化各项工艺参量,制备出在600~1 200nm波段平均透过率高于92%,300~550nm、1 270~2 000nm波段平均透过率低于2%的宽波段带通滤光片.研究中运用"拆分技术要求"的设计思想,对颜色片进行双面镀制,解决了单面膜层过厚难以制备的问题,降低了制备难度,易于批量生产.测试结果表明,该滤光片满足使用要求.
[Abstract]:In this paper, a new filter used in infrared therapeutic instrument is studied. The filter can reduce the carrying energy of partial band light by selectively filtering the light emitted from the light source of the infrared therapeutic instrument. Aiming at the application requirement of infrared therapeutic apparatus, Ti3O5 and SiO2 are selected as high and low refractive index materials, which are heated by electron beam and evaporated with ion assisted deposition technology. The thickness of the film is monitored by quartz crystal control method, and the process parameters are optimized repeatedly. A wide band band-pass filter with an average transmittance of more than 92000nm and a mean transmittance of less than 2% at 1 270 nm was prepared. The design idea of "split technique requirement" was used in the study, and the color film was coated on both sides. It solves the problem that the mono-planar film is too thick and difficult to prepare, and it is easy to be produced in batch. The test results show that the filter meets the requirements of application.
【作者单位】： 长春理工大学光电工程学院;
【基金】：红外技术预研项目(No.5131xxxx103)资助
【分类号】：TH773

【参考文献】

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【共引文献】

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本文编号：1558289