大口径平面快速抛光机床误差模型研究

发布时间：2018-03-03 18:05

  本文选题：光学元件　切入点：抛光　出处：《制造技术与机床》2015年08期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：介绍了大口径平面光学元件快速抛光机床的加工原理,分析了全口径抛光工艺中抛光模与工件之间的精度传递关系,并推导了修整器几何参数对抛光模修整精度及元件加工面形精度的影响规律。对大口径平面快速抛光机床的各项几何误差源进行了分析,并基于多体系统理论,建立了机床修整轴综合空间姿态误差的理论计算模型,详细阐述了机床误差建模过程。
[Abstract]:This paper introduces the machining principle of the fast polishing machine tool for large aperture plane optical element, and analyzes the accuracy transfer relation between the polishing die and the workpiece in the whole aperture polishing process. The effects of geometric parameters of the dresser on the dressing accuracy of polishing die and the machining surface accuracy of components are deduced. The geometric error sources of the large aperture plane rapid polishing machine are analyzed and based on the theory of multi-body system. The theoretical calculation model of synthetic spatial attitude error of machine tool dressing axis is established, and the modeling process of machine tool error is described in detail.
【作者单位】： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心;
【基金】：国家科技重大专项资助项目(2013ZX04006011-101)
【分类号】：TG58;TH74

【参考文献】

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【共引文献】

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