基于误差互补修正的微球干涉测量相位提取方法

发布时间：2018-03-13 17:00

  本文选题：干涉测量　切入点：微球　出处：《中国激光》2015年05期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：针对微球移相干涉测量中系统校准差及离焦引入的线性移相误差对相位信息提取产生的影响及特点,在分析了常用移相算法应用缺陷的基础上,构造了新的五帧算法。该算法对线性移相误差的响应特性与Hariharan算法十分接近,且符号相反。通过两种算法的互补修正,使得相位解算误差理论上较之Hariharan算法降低了两个数量级,大幅提高了定步长移相算法的线性误差抑制能力,且避免出现类似任意步长算法奇异相位解的异常情况,运算更为简洁。最后通过测量实验验证了提出的误差互补修正相位提取方法的可行性和有效性。
[Abstract]:In view of the influence and characteristics of the system calibration error and the linear phase shift error introduced by defocusing on the phase information extraction in the microsphere phase shift interferometry, the application defects of common phase shift algorithms are analyzed. A new five-frame algorithm is constructed. The response characteristic of the algorithm to the linear phase shift error is very close to that of the Hariharan algorithm, and the symbol is opposite. Through the complementary correction of the two algorithms, the phase resolution error is reduced by two orders of magnitude in theory compared with the Hariharan algorithm. The linear error suppression ability of the fixed step size phase shift algorithm is greatly improved, and the abnormal situation of singular phase solution similar to the arbitrary step size algorithm is avoided. Finally, the feasibility and effectiveness of the proposed phase extraction method with complementary error correction are verified by measurement experiments.
【作者单位】： 哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院;
【基金】：国家自然科学基金(61275096,51275120) 哈尔滨工业大学科研创新基金(HIT.NSRIF201098)
【分类号】：TH744.3

【参考文献】

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【共引文献】

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本文编号：1607288