基于干涉条纹相关性测量PZT相移特性的方法

发布时间：2018-03-18 07:57

  本文选题：PZT压电陶瓷　切入点：干涉测量　出处：《压电与声光》2016年03期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：闭环压电陶瓷(PZT)具有良好的线性特征,能实现纳米级分辨率,在微位移过程中响应快,精度高,广泛用于光学测量领域。在干涉测量中,利用PZT控制反射镜的移动,引入可控相移,需要知道PZT的电压相移特性。提出了基于干涉条纹图样的相关性测量PZT电压相移特性的方法,利用CMOS数字摄像机采集干涉条纹图样,以零电压对应的图样为基准图,做归一化相关系数运算,最后得到PZT电压相移特性曲线,满足了干涉测量相移可控的要求。
[Abstract]:Closed-loop piezoelectric ceramics (PZT) have good linear characteristics, can achieve nanometer resolution, fast response and high precision in the process of micro-displacement, and are widely used in optical measurement. In interferometry, the movement of reflector is controlled by PZT. By introducing controllable phase shift, we need to know the voltage phase shift characteristics of PZT. A method of measuring the voltage phase shift characteristics of PZT based on the correlation of interference fringe pattern is proposed. The interference fringe pattern is collected by CMOS digital camera. Taking the pattern corresponding to zero voltage as the reference diagram, the normalized correlation coefficient is calculated. Finally, the phase shift characteristic curve of PZT voltage is obtained, which satisfies the requirement of controllable phase shift in interferometric measurement.
【作者单位】： 电子科技大学光电信息学院;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(61308062)
【分类号】：TH744.3

【参考文献】

相关期刊论文 前5条

1 孙宝光;谭仁兵;张启义;;迈克尔逊干涉仪对压电陶瓷动态特性的研究[J];压电与声光;2015年05期

2 郑春艳;杨若夫;徐林;孔令讲;敖明武;杨平;黄子强;吴健;;液晶闪耀光栅波前相位测量方法[J];中国激光;2011年10期

3 李卓;邱慧娟;;基于相关系数的快速图像匹配研究[J];北京理工大学学报;2007年11期

4 曹炬,马杰,谭毅华,田金文;基于像素抽样的快速互相关图像匹配算法[J];宇航学报;2004年02期

5 郭广平,计欣华,秦玉文,杜家吉,王自明;用于位移精密测量的光外差马赫-泽德干涉仪[J];光学技术;1997年06期

相关博士学位论文 前1条

1 郑春艳;液晶光栅相控阵波前检测及性能分析[D];电子科技大学;2012年

相关硕士学位论文 前1条

1 马琳;基于相位调制的激光干涉位移测量系统关键技术研究[D];合肥工业大学;2014年

【共引文献】

相关期刊论文 前10条

1 赵英明;杨若夫;杨春平;马小莉;程马兵;;基于干涉条纹相关性测量PZT相移特性的方法[J];压电与声光;2016年03期

2 廖剑;史贤俊;康宇航;马长李;马瑞萍;;一种ASA曲线的处理方法及其在电路板状态监测和故障诊断中的应用[J];航天控制;2016年02期

3 夏清沛;熊芝;陈海林;詹君;;两种图像匹配模型的应用实例分析[J];科技通报;2015年11期

4 曾祥进;田峰;王子维;章刘斌;;芯片引线键合的快速图像定位研究[J];华中科技大学学报(自然科学版);2015年S1期

5 李振林;鲍立尚;;地物信息变化检测方法对比[J];矿山测量;2015年05期

6 曾祥进;田峰;袁泽;钟旭锐;;IC芯片引线框架亚像素边缘提取研究[J];软件导刊;2015年09期

7 张焕龙;郑卫东;舒云星;;基于增量式互信息的图像快速匹配方法[J];弹箭与制导学报;2015年01期

8 伯恩;段发阶;冯帆;吕昌荣;傅骁;;一种新的正弦相位调制干涉条纹相位稳定方法[J];光电工程;2014年08期

9 王兴;苗春生;王秀君;樊仲欣;;基于OpenCL的雷达外推算法改进与优化[J];计算机与现代化;2014年08期

10 崔丹丹;张耀南;赵国辉;;基于MPI和OpenCV遥感图像匹配的并行实现[J];计算机应用;2014年S1期

相关硕士学位论文 前1条

1 白静;基于TV正则化约束模型的三维断层相位显微镜图像重建[D];浙江大学;2015年

【二级参考文献】

相关期刊论文 前10条

1 曲绍鹏;李东明;;压电双晶片谐响应有限元模拟分析[J];大连交通大学学报;2012年04期

2 王东;孙文斌;;光干涉法测量压电陶瓷压电特性[J];压电与声光;2011年06期

3 孔令讲;朱颖;杨建宇;张翠玉;;一种新的液晶相控阵组件波控方法[J];光学学报;2009年07期

4 王涛;王晓东;王立鼎;;压电陶瓷快速响应特性与应用研究[J];传感技术学报;2009年06期

5 陈云鹏;胡易;陈黎暄;范雪兰;赵红娥;成正维;;基于动态全息光栅转换技术的压电陶瓷特性测量[J];物理实验;2009年04期

6 张翠玉;黄子强;;二元光学液晶闪耀光栅的特性分析[J];光学学报;2008年07期

7 李书民;唐军;;应用迈克耳孙干涉仪研究压电陶瓷的特性[J];物理实验;2008年06期

8 门秀花;李舜酩;;压电陶瓷传感器稳定性的仿真分析[J];传感器与微系统;2007年10期

9 王俐;卢亚雄;黄子强;邹杰宇;蔡宁;;电场边缘效应对液晶光栅特性的影响[J];液晶与显示;2007年01期

10 王军;张明柱;;图像匹配算法的研究进展[J];大气与环境光学学报;2007年01期

相关博士学位论文 前2条

1 蒋志凌;哈特曼波前传感器特性和应用研究[D];中国科学院研究生院（武汉物理与数学研究所）;2005年

2 李大海;激光光束波前畸变的径向剪切干涉诊断及其控制新方法研究[D];四川大学;2002年

相关硕士学位论文 前1条

1 孙伟程;低噪声放大器的设计及其稳定性的研究[D];西安电子科技大学;2012年

【相似文献】

相关期刊论文 前10条

1 赵宇光;制备灵敏PZT纤维的新工艺[J];中国建材科技;1996年03期

2 王忠华;李振豪;普朝光;杨培志;林猷慎;;用于非制冷热释电红外探测器的PZT铁电薄膜研究[J];无机材料学报;2006年05期

3 何晓勇,卢红霞,张锐,许宏亮,李元昕;MgO,Y_2O_3,MnO_2掺杂PZT超声压电陶瓷性能研究[J];郑州大学学报(工学版);2002年02期

4 鲁健,褚家如;高取向PZT铁电薄膜的溶胶-凝胶法制备[J];中国科学技术大学学报;2002年06期

5 熊见芳,叶小红,张琪;PZT系陶瓷材料作热释电激光能量探测器的研究[J];重庆大学学报(自然科学版);1986年04期

6 王立平;卢琳;谢静菁;王聪;姜胜林;;PZT叠层厚膜陶瓷材料性能的研究[J];压电与声光;2009年02期

7 胡自强;凌宁;潘君骅;饶长辉;姜文汉;;基于PZT的非球面能动抛光盘的变形优化[J];光学精密工程;2009年01期

8 阎石;吴杰;;基于PZT片的智能骨料受力性能试验研究[J];混凝土;2012年06期

9 苏兆文;高g常数的梯状结构PZT压电陶瓷——国外新型压电材料简介[J];压电与声光;1981年06期

10 陆翠敏;孙清池;徐明霞;王俐聪;;镨掺杂PZT二元系压电陶瓷性能研究[J];稀有金属材料与工程;2006年01期

相关会议论文 前10条

1 吴新民;陈进榜;朱日宏;程丽君;王青;;压电陶瓷(PZT)的动态频率响应的干涉法测量方法[A];第九届全国光学测试学术讨论会论文（摘要集）[C];2001年

2 王灿;石云;方前锋;朱震刚;;PZT铁电陶瓷的低频内耗研究[A];全国第六届固体内耗与超声衰减学术会议论文集[C];2001年

3 李国荣;陈大任;沈卫;张望重;张申;殷庆瑞;;多层片式PZT系压电陶瓷微位移器位移特性研究[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年

4 宋世庚;符小荣;张锦文;龚健;陶明德;;Sol-Gel法制备PZT铁电薄膜的研究[A];材料科学与工程技术——中国科协第三届青年学术年会论文集[C];1998年

5 晏伯武;;PZT压电陶瓷凝胶注模成型的研究[A];第三届全国信息获取与处理学术会议论文集[C];2005年

6 余t，

本文编号：1628656