一种制作凹形聚二甲基硅氧烷微透镜阵列的方法

发布时间：2018-03-20 01:37

  本文选题：光学器件　切入点：微光学元件　出处：《中国激光》2014年03期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：提出一种制作凹形聚二甲基硅氧烷(PDMS)微透镜阵列的方法。用数字微镜器件(DMD)代替物理掩模,建立数字灰阶无掩模光刻系统,在光刻胶上制作正方形基底凸形微透镜阵列,以此阵列为母板,采用复制方法,制作了高填充因子的正方形基底凹形PDMS微透镜阵列。实验和测试结果表明:数字灰阶无掩模光刻系统制作的微透镜阵列表面光滑,形貌良好;复制的PDMS微透镜阵列边缘清晰,表面光滑,焦面光斑光强均匀。为制作凹形微透镜阵列提供了一条制作简单、效率高、成本低、可大规模制作的新途径。
[Abstract]:A method of fabricating concave polydimethylsiloxane (PDMS) microlens array is presented. Digital micromirror device (DMD) is used to replace the physical mask, and a digital gray scale mask lithography system is established, and a square substrate convex microlens array is fabricated on the photoresist. The PDMS microlens array with high filling factor was fabricated by using this array as the matrix. The experimental and test results show that the microlens array made by the digital gray scale mask lithography system has a smooth surface and good morphology. The duplicated PDMS microlens array has clear edge, smooth surface and uniform focal spot intensity. It provides a new way to fabricate concave microlens array with simple fabrication, high efficiency, low cost and large scale fabrication.
【作者单位】： 南京航空航天大学自动化学院;南昌航空大学无损检测教育部重点实验室;
【基金】：国家自然科学基金(61261026) 航天科技创新基金(CASC201105)
【分类号】：TH74

【参考文献】

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【共引文献】

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