一种基于MEMS的新型镂空压电悬臂梁能量采集器
本文选题：能量采集器 切入点：矩形悬臂梁 出处：《微电子学》2016年03期 论文类型：期刊论文
【摘要】：在经典的矩形悬臂梁结构基础上进行改进,设计了一种新型的基板与压电膜镂空的微悬臂梁能量采集器。在悬臂梁基板与压电膜上添加镂空,分析其结构尺寸(即镂空的长度、宽度、厚度以及数量)与压电振子固有频率和开路输出电压之间的关系,并通过调节其结构尺寸,使压电能量采集器具有更低的振动频率与更高的开路输出电压。实验结果表明,在镂空长度为200μm,宽度为165μm,数量为12时,该结构振子的固有频率可达到399.7Hz,开路输出电压可达0.271V。
[Abstract]:On the basis of the classical rectangular cantilever beam structure, a new type of micro-cantilever beam energy collector with hollow substrate and piezoelectric film is designed. The hollow hole is added to the cantilever beam substrate and piezoelectric film, and the structural dimensions (i.e. the length of the hollowed-out) are analyzed. The relationship between the width, thickness, and number of piezoelectric oscillators and their natural frequencies and open circuit output voltages, and by adjusting their structural dimensions, The piezoelectric energy collector has lower vibration frequency and higher open circuit output voltage. The experimental results show that the natural frequency of the vibrator can reach 399.7 Hz and the open circuit output voltage can reach 0.271 V when the hollow-out length is 200 渭 m, the width is 165 渭 m and the number is 12:00.
【作者单位】： 重庆邮电大学光电工程学院;重庆平伟实业股份有限公司;
【基金】：重庆光电产业科技支撑示范工程项目(cstc2014zktjccxBX0065)
【分类号】：TH703
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，本文编号：1640103
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