折射率修正技术——激光干涉仪技术综述之四

发布时间：2018-03-26 08:06

  本文选题：激光干涉仪　切入点：折射率测量　出处：《工具技术》2015年01期

【摘要】：波长误差是激光干涉仪的重要误差源,而折射率的变化直接影响波长精度,本文介绍了激光折射率修正的原理,比较了间接、绝对、相对三种实用折射率修正方法的特点,分析了折射率修正的算法,进而提出一些正确使用激光干涉仪的方法。
[Abstract]:Wavelength error is an important error source of laser interferometer, and the variation of the refractive index directly affects the precision of wavelength, this paper introduces the principle of laser refraction correction, the indirect, absolute and relative three modified methods with refractive index characteristics, analyzed the refraction correction algorithm, and then put forward some correct use of laser interference instrument approach.

【作者单位】： 成都工具研究所有限公司;
【分类号】：TH744.3

【参考文献】

相关期刊论文 前4条

1 李东光,张国雄;真空腔测量空气折射率的方法及精度分析[J];光学技术;2000年06期

2 倪育才;空气折射率埃德林公式的修改[J];计量技术;1998年03期

3 陈强华,闫聚群,柳忠尧,殷纯永,叶孝佑,许婕;基于等效合成波方法的双真空管空气折射率测量仪[J];计量学报;2004年03期

4 殷纯永,丁慎训,张国贞;自动补偿双频激光测量系统[J];清华大学学报(自然科学版);1979年02期

【共引文献】

相关期刊论文 前10条

1 林大华;余培英;宋增超;谢东;;激光干涉仪在速度校准中的应用[J];船舶工程;2012年S1期

2 郑国忠;;射电望远镜天线的精密测量概述[J];工程勘察;1985年03期

3 王亚伟;周维虎;王中宇;丁蕾;;激光跟踪测量系统大气折射率修正方法[J];光电子技术;2011年02期

4 羡一民,薛梅;激光波长补偿问题[J];工具技术;2004年09期

5 刘丽飒;李强;段云龙;;放气系统流场的光学干涉测量[J];光学与光电技术;2010年01期

6 李东光,张国雄;用预抽气真空腔法测量及补偿空气折射率的研究[J];光学精密工程;2001年01期

7 徐毓娴,薛实福,李庆祥;新型自扫描激光干涉系统[J];光学技术;1998年04期

8 刘红忠;丁玉成;卢秉恒;王莉;;基于分步式压印光刻的激光干涉仪纳米级测量及误差研究[J];光子学报;2006年10期

9 王少水;朱兴邦;孙权社;赵发财;;光栅型光谱仪波长准确度校准方法[J];光电工程;2014年01期

10 李立群;蒋丽雁;邓珂;;几种激光干涉仪精度校准方法的分析[J];工具技术;2014年07期

相关博士学位论文 前5条

1 黎永前;纳米精度测量与校准系统关键技术研究[D];西北工业大学;2003年

2 梁晶;用于绝对距离测量的He-Ne激光多波长干涉仪的研究[D];国防科学技术大学;2010年

3 张亚娟;单站式激光跟踪坐标测量系统研究[D];天津大学;2012年

4 王晨晨;异端类型三坐标测量机结构原理及误差修正技术研究[D];合肥工业大学;2012年

5 谷勇强;投影光刻物镜光学元件的离子束精修技术研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2013年

相关硕士学位论文 前7条

1 姚喜国;激光合成波长纳米位移测量干涉仪的非线性误差分析与补偿方法研究[D];浙江理工大学;2011年

2 崔建军;高精度温度控制及PTF测量的研究[D];中国计量科学研究院;2006年

3 韩建坤;液位检测标准装置的设计[D];辽宁石油化工大学;2012年

4 陆叶盛;超精密装备恒温气浴关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2013年

5 张雪峰;基于合成波长检测的空气折射率测量信号处理方法[D];浙江理工大学;2013年

6 何京徽;基于外差干涉技术的纳米定位方法研究[D];中国计量学院;2014年

7 赵昊;FMCW激光雷达信号处理与研究[D];哈尔滨工业大学;2014年

【相似文献】

相关期刊论文 前10条

1 王颖;空间探测激光干涉仪在太空中寻找黑洞[J];激光与光电子学进展;2001年02期

2 ;双波长光频光热调制半导体激光干涉仪[J];中国计量学院学报;2001年02期

3 羡一民,王科峰;激光干涉仪技术及发展[J];工具技术;2003年11期

4 许婕,徐毅,叶孝佑;激光干涉仪非线性的测量[J];计量学报;2003年04期

5 杜振辉,蒋诚志,桂垣,王斌;激光干涉仪测量长度[J];河北建筑工程学院学报;2003年02期

6 王林斗,王加新,邢文烈,李玉峰;具有隔离器功能的激光干涉仪的研究(英文)[J];光学精密工程;2004年05期

7 暴亚琼;苏寒松;;反馈式激光干涉仪条纹锁定现象分析[J];电子测量技术;2004年05期

8 于梅,孙桥;外差式激光干涉仪应用于正弦直线和旋转振动测量技术的研究[J];计量学报;2005年03期

9 邓上;激光干涉仪的细分技术[J];工具技术;2005年07期

10 樊锐,李谦;激光干涉仪远程触发功能及其在工作台运动性能评估中的应用[J];华北航天工业学院学报;2005年02期

相关会议论文 前10条

1 李伟;;激光干涉仪在测量过程中所产生的误差及消除办法[A];第四届十三省区市机械工程学会科技论坛暨2008海南机械科技论坛论文集[C];2008年

2 杨玉洁;姜国雁;刘涛;胡荣辉;;量块激光干涉仪的研制[A];第九届沈阳科学学术年会论文集（信息科学与工程技术分册）[C];2012年

3 郭秀琪;;用激光干涉仪波长检定接触式干涉单色滤光片波长的方法[A];贵州省科学技术优秀学术论文集（2004年度）[C];2004年

4 曹利波;;利用激光干涉仪对机床定位精度的快速检测[A];高精度几何量光电测量与校准技术研讨会论文集[C];2008年

5 方明;;激光干涉仪在水平仪检定器检定中的运用[A];江苏计量测试学术论文集（2009）[C];2009年

6 黄涛;朱秋东;魏平;;数字激光干涉仪中基于FPGA的视频图像预处理[A];第三届全国数字成像技术及相关材料发展与应用学术研讨会论文摘要集[C];2004年

7 叶孝佑;高宏堂;高思田;陈允昌;;实现纳米测量分辨力的激光干涉仪信号处理系统[A];2007'中国仪器仪表与测控技术交流大会论文集（二）[C];2007年

8 荣飘;张淳民;;Fizeau型激光干涉仪在面形检测中的应用[A];2013年（第五届）西部光子学学术会议论文集[C];2013年

9 王广宇;洪延姬;叶继飞;;激光干涉仪测微冲量原理[A];庆祝中国力学学会成立50周年暨中国力学学会学术大会’2007论文摘要集（下）[C];2007年

10 陈杰;高丽;庄革;;J-TEXT远红外激光干涉仪的建立[A];中国核科学技术进展报告——中国核学会2009年学术年会论文集（第一卷·第7册）[C];2009年

相关博士学位论文 前2条

1 梁浴榕;外差激光干涉仪中的高精度相位测量研究[D];华中科技大学;2013年

2 黎永前;纳米精度测量与校准系统关键技术研究[D];西北工业大学;2003年

相关硕士学位论文 前9条

1 于乃昭;激光干涉仪在低频微小振动测量中的应用[D];哈尔滨工程大学;2011年

2 邹建忠;激光干涉仪跟踪式无导轨测量的研究[D];西安理工大学;2001年

3 裴扬;一种基于光纤端面检测的激光干涉仪优化设计的研究[D];南昌航空大学;2014年

4 陈力立;基于激光干涉仪的时栅传感器全自动控测系统[D];重庆理工大学;2012年

5 孙拉拉;能量天平位移测量系统研制[D];合肥工业大学;2009年

6 黄根旺;斐索型移相式激光干涉仪研究[D];哈尔滨工业大学;2011年

7 朱荣芳;基于ARM的激光干涉仪抗振技术研究[D];南京理工大学;2014年

8 来展;激光干涉仪信号处理系统及纳米测量机控制系统的研究[D];中国计量科学研究院;2011年

9 何建;时栅转台全自动误差标定与分析系统研究[D];重庆理工大学;2014年

，

本文编号：1667082