近场超声悬浮精度理论分析及试验研究
本文选题：近场超声悬浮 切入点：气体挤压膜 出处：《机械工程学报》2014年11期
【摘要】：应用流体润滑理论建立自由悬浮体气膜压力分布模型以及悬浮体非线性运动方程,应用非线性数值求解方法对模型进行求解,获得高频激励下气体挤压膜压力分布、承载能力以及悬浮体悬浮状态参数的瞬态响应。以此为基础分析不同状态下悬浮体的悬浮精度,并讨论其影响因素及规律,发现超声挤压膜支承可以达到很高的支承精度,其影响因素主要为激励频率、激励幅值以及悬浮质量等。在此基础上在悬浮试验台上对悬浮精度进行试验研究,发现数值计算结果和试验数据有较大差异,分析认为造成这一差异的主要原因是测试过程中悬浮盘约束困难,激励信号频率不单一、环境干扰、计算模型不够完善等因素,结论可为超声悬浮轴承或微纳米器件悬浮精度设计提供参考。
[Abstract]:Application of fluid lubrication theory to establish the free floating gas film pressure distribution model and suspension nonlinear equations of motion, the application of nonlinear numerical method to solve the model, obtained high frequency excitation of gas squeeze film pressure distribution, load capacity and transient state parameters of the suspension suspension response. Based on analyzing different state precision Suspension Suspension, and discusses its the influence factors and the law, found the ultrasonic extrusion film supporting can achieve very high precision of bearing, the main influencing factors for the excitation frequency, excitation amplitude and suspension quality. On the basis of the suspension test bench of suspended precision of experimental research, found that the numerical results and test data are different, it is analyzed that the causes of this difference is in the process of testing the suspension plate constraint difficult, the frequency of the stimulation signal is not single, environment interference, The calculation model is not perfect, and the conclusion can provide reference for the suspension precision design of ultrasonic bearing or micro nano device.
【作者单位】： 南京航空航天大学机电学院;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(50975138)
【分类号】：TH703.3
【参考文献】
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【共引文献】
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【二级参考文献】
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，本文编号：1668995
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