二维解耦微位移工作台的设计与有限元分析

发布时间：2018-04-17 15:47

  本文选题：微位移工作台 + 驱动器浮动　； 参考：《机械设计与制造》2014年10期

【摘要】：微位移工作台在微机电系统、超精密加工和生物医学工程等领域有广泛的应用。设计了一种驱动器浮动的二维解耦微位移工作台。工作台采用双层柔性铰链杆对称一体化结构,消除了X、Y方向的耦合运动。推导了微位移工作台的理论刚度。为了验证此微位移工作台能够满足设计要求,采用有限元方法进行分析计算,有限元计算得到的微位移工作台刚度与微位移工作台的理论刚度吻合较好,并且通过有限元计算的结果验证了工作台在X、Y方向的运动无耦合。
[Abstract]:Micro-displacement table is widely used in micro-electromechanical system, ultra-precision machining and biomedical engineering.A two-dimensional decoupling micro displacement table with floating driver is designed.The table adopts double-layer flexure hinge bar symmetrical integrated structure, which eliminates the coupling motion in XY direction.The theoretical stiffness of the micro-displacement table is derived.In order to verify that the micro-displacement table can meet the design requirements, the finite element method is used to analyze and calculate. The stiffness of the micro-displacement table calculated by the finite element method is in good agreement with the theoretical stiffness of the micro-displacement table.The results of finite element analysis show that there is no coupling in the XY direction of the worktable.
【作者单位】： 合肥工业大学机械与汽车工程学院;
【基金】：合肥工业大学2012年国家级大学生创新创业(训练、实践)计划项目(201210359001)
【分类号】：TH703

【参考文献】

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【共引文献】

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【二级参考文献】

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本文编号：1764237