一种新型MEMS加速度计温度补偿方法研究
本文选题:MEMS + 加速度计 ; 参考:《传感技术学报》2015年01期
【摘要】:为降低环境温度对加速度计测量输出的影响,本文提出了一种新的加速度计温度补偿方法,即三维拟合曲面和计算的补偿方法。本文详细介绍了该温度补偿方法的具体原理和实现方法,并用实验进行了验证,实验结果表明加速度计最大零位漂移由温度补偿前的500 m V缩小为温度补偿后的50 m V,即温漂缩小了一个数量级,补偿效果明显。
[Abstract]:In order to reduce the influence of ambient temperature on the measurement output of accelerometer, a new method of temperature compensation for accelerometer is proposed in this paper, which is the compensation method of 3D fitting surface and calculation. In this paper, the principle and implementation of the temperature compensation method are introduced in detail, and verified by experiments. The experimental results show that the maximum zero drift of accelerometer is reduced from 500 MV before temperature compensation to 50 MV after temperature compensation, that is, the temperature drift is reduced by an order of magnitude, and the compensation effect is obvious.
【作者单位】: 安徽建筑大学电子与信息工程学院;安徽大学电子信息工程学院;
【基金】:安徽省教育厅自然科学重点科研项目(KJ2013A071)
【分类号】:TN96;TH824.4
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,本文编号:1786439
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