大口径标准球面镜组研制与应用

发布时间：2018-05-08 05:14

本文选题：光学制造 + 大口径　；参考：《中国激光》2014年06期

【摘要】：为了实现大口径凸面反射镜检测,研究了大口径标准镜组的设计与研制技术。针对口径Φ为350mm、焦距为4400mm的标准球面镜组,完成了标准镜头设计分析、面形和曲率半径误差标定以及系统集成与实验验证。光学设计软件模拟分析结果表明镜头设计波像差达到0.0001λ[峰谷值(PV),λ=632.8nm],该标准镜头参考球面标准镜面形加工精度达到0.088λ(PV,λ=632.8nm)、0.006λ[均方根(RMS),λ=632.8nm],某项目Φ为320mm、R为4092mm的碳化硅凸面反射镜最终加工检测结果达到0.102λ(PV,λ=632.8nm)、0.011λ(RMS,λ=632.8nm)。结果表明采用该大口径标准球面波透镜组为大口径长曲率半径凸面反射镜提供了一种高精度检测的手段,解决了大口径长曲率半径凸面反射镜检测难题,采用该标准球面镜结合基于数字样板的非零位检测方法也可完成浅度非球面或自由曲面面形实时高精度检测。
[Abstract]:In order to realize the detection of large - caliber convex mirror , the design and development technology of large aperture standard mirror group is studied . The standard lens design analysis , surface shape and curvature radius error calibration and system integration and experimental verification are completed aiming at the standard spherical lens group with the diameter of 350mm and the focal length of 4400 mm . The results of simulation and analysis of optical design software show that the lens design wave aberration reaches 0.088 位 ( PV , 位 = 632.8 nm ) , 0 . 006 位 RMS root mean square root ( RMS ) , 位 = 632.8 nm , and the final machining detection result reaches 0.102 位 ( PV , 位 = 632.8 nm ) , and 0 . 011 位 ( RMS , 位 = 632.8 nm ) . The results show that the large - caliber spherical surface wave lens group provides a high - precision detection method for the large - caliber long - curvature radius convex mirror , and solves the problem that the large - caliber long - curvature radius convex mirror detection problem is solved , and the non - zero - position detection method based on the digital template can also finish the real - time high - precision detection of the shallow aspheric surface or the free surface shape by using the standard spherical mirror .

【作者单位】：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室;
【基金】：国家973计划(2011CB013205) 国家自然科学基金重点项目(61210015)
【分类号】：TH74

【参考文献】

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【共引文献】

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