红外衍射光学元件的衍射效率和加工误差的研究

发布时间：2018-05-17 01:18

  本文选题：衍射光学元件 + 多层衍射光学元件　； 参考：《长春理工大学》2016年硕士论文

【摘要】：衍射效率是衡量衍射光学元件好坏的重要指标。衍射效率的大小,直接影响着衍射光学元件的光学性能及其在折/衍射混合光学系统中的应用。本文研究了双层衍射光学元件空气间隙大小对其衍射效率的影响,并且举例分析了衍射光学元件在红外光学系统的实际应用。首先,本文以标量衍射理论和位相光栅方程,作为衍射光学元件理论分析的基础。分析了单层衍射光学元件、谐衍射光学元件、多层衍射光学元件在红外波段,其波长与衍射效率之间的关系。基于单层衍射光学元件、双层衍射光学元件倾斜入射时衍射效率表达式,讨论了斜入射时红外波段入射角度大小对衍射光学元件衍射效率的影响。与此同时,通过对Debye-Waller公式分析,讨论研究了衍射光学元件表面粗糙度对衍射光学元件衍射效率的影响。其次,根据含有倾斜误差、偏心误差的衍射光学元件衍射效率的数学模型,分别讨论了它们在红外波段对衍射光学元件衍射效率的影响。除此之外,通过对双层衍射光学元件周期宽度误差的分析,建立了含有空气间隙的衍射光学元件衍射效率数学模型,分别讨论了不同周期、不同入射角度下,空气间隙大小对双层衍射光学元件衍射效率的影响。最后,以硫化锌(Zn S)和硒化锌(Zn Se)为基底材料,设计了包含多层衍射光学元件的红外成像系统。基于带宽积分平均衍射效率理论,进一步验证了空气间隙大小对多层衍射光学元件性能的影响。
[Abstract]:Diffraction efficiency is an important index to measure the quality of diffractive optical elements. The magnitude of diffraction efficiency directly affects the optical properties of diffractive optical elements and their applications in refractive / diffractive hybrid optical systems. In this paper, the effect of air gap on diffraction efficiency of double layer diffractive optical elements is studied, and the practical application of diffractive optical elements in infrared optical system is analyzed with examples. Firstly, the scalar diffraction theory and phase grating equation are used as the basis of theoretical analysis of diffractive optical elements. The relationship between the wavelength and diffraction efficiency of single layer diffractive optical element harmonic diffractive optical element and multilayer diffractive optical element in infrared band is analyzed. Based on the expression of diffraction efficiency of single-layer diffractive optical element and double-layer diffractive optical element, the influence of incidence angle of infrared band on diffraction efficiency of diffractive optical element is discussed. At the same time, the influence of surface roughness of diffractive optical elements on diffraction efficiency of diffractive optical elements is discussed by analyzing the Debye-Waller formula. Secondly, according to the mathematical model of diffraction efficiency of diffractive optical elements with tilt error and eccentric error, the influence of them on diffraction efficiency of diffractive optical elements in infrared band is discussed respectively. In addition, by analyzing the error of cycle width of double-layer diffractive optical elements, a mathematical model of diffraction efficiency of diffractive optical elements with air gap is established, and the mathematical models of diffraction efficiency of diffractive optical elements with different periods and different incident angles are discussed respectively. Effect of air gap on diffraction efficiency of double-layer diffractive optical elements. Finally, an infrared imaging system containing multilayer diffractive optical elements is designed using zinc sulfide (ZnS) and zinc selenide (Zn-Se) as substrate materials. Based on the theory of bandwidth integral average diffraction efficiency, the effect of air gap on the performance of multilayer diffractive optical elements is further verified.
【学位授予单位】：长春理工大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2016
【分类号】：O436.1;TH74

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本文编号：1899263