亚纳米精度光学表面离子束修形的基础研究

发布时间：2018-06-07 19:09

  本文选题：亚纳米 + 光学表面　； 参考：《金属加工(冷加工)》2017年03期

【摘要】：正超精密加工是以追求高精度为目标的制造技术,纳米精度制造代表其发展前沿,以极大规模集成电路光刻制造、惯性约束聚变和高分对地观测等为代表的国家重大工程迫切需要纳米精度制造技术的支撑。论文面向国家重大需求和超精密加工发展前沿,开展亚纳米精度制造的基础研究,寻求光学表面
[Abstract]:Ultra-precision machining is a manufacturing technology aiming at high precision. Nano-precision manufacturing represents the frontier of its development and is fabricated with a large scale integrated circuit lithography. Inertial confinement fusion (ICF) and high-score Earth observation (HES) are the most important projects in China, which urgently need the support of nano-precision manufacturing technology. In order to meet the important needs of the country and the development frontier of ultra-precision machining, this paper develops the basic research of subnanometer precision manufacturing and seeks optical surface.
【作者单位】： 国防科学技术大学;
【分类号】：TH74

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本文编号：1992457