双闭式气体静压导轨超精密工作台振动特性分析

发布时间：2018-06-19 21:47

  本文选题：气浮工作台 + 振动　； 参考：《实验室研究与探索》2015年05期

【摘要】：为获得超精密工作台系统特性,针对双闭式气体静压导轨超精密工作台的振动特性展开研究。建立了工作台系统的动力学模型,推导了系统振动微分方程。通过实验得出了在实际工况中较为准确的线性弹簧刚度,用线性弹簧模拟气体静压腔,简化了系统动力学模型。最终根据系统振动微分方程建立仿真模型并进行了求解和分析,得到了仿真系统的固有频率和振型,并通过振动实验验证了仿真模型的准确度。气体静压系统的隔振效果在于高频范围,其模态特性符合超精密工作台系统的结构要求。
[Abstract]:In order to obtain the characteristics of ultra-precision worktable, the vibration characteristics of double-closed gas static guide rail ultra-precision table are studied. The dynamic model of the worktable system is established and the differential equation of the vibration of the system is derived. The more accurate linear spring stiffness is obtained by experiments. The linear spring is used to simulate the gas static chamber, and the system dynamic model is simplified. Finally, the simulation model is established according to the system vibration differential equation and solved and analyzed. The natural frequency and vibration mode of the simulation system are obtained, and the accuracy of the simulation model is verified by vibration experiment. The vibration isolation effect of the gas static pressure system lies in the high frequency range, and its modal characteristics meet the structural requirements of the ultra-precision table system.
【作者单位】： 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所;
【分类号】：TH703.4

【参考文献】

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1 李志来;;高精度间隙补偿式闭式气浮导轨性能的分析研究[J];长春光学精密机械学院学报;1996年04期

2 张雯;李东升;禹静;尹健龙;;气体静压导轨气膜厚度的电容式测试方法[J];传感器与微系统;2012年07期

3 朱煜,尹文生,段广洪;光刻机超精密工件台研究[J];电子工业专用设备;2004年02期

4 陶家生;闭式双排节流孔矩形气浮导轨的计算方法（一）──有限元法对高压区压力的分析[J];光学精密工程;1996年02期

5 陶家生;闭式双排节流孔矩形气浮导轨的计算方法(二)[J];光学精密工程;1997年01期

6 陈学东;鲍秀兰;何学明;余显忠;;纳米级超精密气浮工件台振动特性分析[J];华中科技大学学报(自然科学版);2007年11期

7 陶家生;复合载荷作用下闭式气浮导轨的有限元计算法[J];仪器仪表学报;1997年02期

8 张旭忠;卢志伟;刘波;张君安;;气浮导轨性能测试实验台设计与分析[J];液压与气动;2012年02期

【共引文献】

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3 周奇郑;王德石;高晟耀;;空间摆盘机转动对基座的冲击与隔离[J];四川兵工学报;2010年07期

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5 邓习树,吴运新,李建平;光刻机宏动试验运动平台设计及其减振系统仿真研究[J];电子工业专用设备;2005年10期

6 邓习树;吴运新;杨辅强;王永华;;用于光刻机模拟运动的精密工件台宏动定位系统研制[J];电子工业专用设备;2007年02期

7 严伟;胡松;唐小萍;赵立新;杨勇;蒋文波;周绍林;陈旺富;;基于DMD的步进式无掩模数字曝光方法及装置[J];电子工业专用设备;2008年10期

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2 钟俊;宏观尺度的纳米级定位控制技术研究[D];中国科学技术大学;2011年

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4 沈辉;基于压电材料的振动能量回收电路及其应用研究[D];南京航空航天大学;2010年

5 仲元昌;基于智能传感器阵列的大型风洞机组振动监测研究[D];重庆大学;2011年

6 周擎坤;柔顺直线导向与缓冲机构设计问题研究[D];国防科学技术大学;2011年

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8 朱涛;极紫外光刻机工件台精密机械及控制相关技术[D];中国科学院研究生院（电工研究所）;2006年

9 杨洪涛;坐标测量机误差建模与修正技术研究[D];合肥工业大学;2007年

10 孟庆华;深植挖坑机钻头动态过程数学描述与仿真研究[D];东北林业大学;2007年

【二级参考文献】

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1 邬纪泽,苗资生;精密工件台的实验模态分析[J];电子工业专用设备;1991年01期

2 戴一帆,王新峰,吴宇列;超精密气浮式电容传感器系统[J];国防科技大学学报;1999年05期

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9 张鸣,朱煜,段广洪;超精密气浮工件台的微振动及其抑制[J];制造技术与机床;2005年11期

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4 朱立伟;朱煜;尹文生;;超精密工作台自标定不确定度定量评价[J];清华大学学报(自然科学版);2006年08期

5 黄瑜瑜;;二维微动精密工作台[J];科技传播;2011年19期

6 黎新;陈育荣;王生怀;;一种新型三维精密工作台的设计与应用[J];自动化仪表;2012年08期

7 戴靖东;;超大规模集成电路微细加工精密工作台系统的动态响应[J];南京工学院学报;1987年01期

8 张建荣;方型码盘自动检测仪精密工作台的设计[J];光电工程;1991年02期

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10 王淑珍;常素萍;谢铁邦;;大行程纳米级共平面二维精密工作台的研究[J];机械科学与技术;2010年08期

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3 张晓峰;大行程超精密工作台关键技术研究[D];天津大学;2005年

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5 王友博;基于双闭环反馈的精密工作台设计[D];哈尔滨理工大学;2015年

6 魏建华;气浮工作台控制系统研究[D];天津大学;2009年

7 刘英超;基于ARM的大行程精密工作台控制系统[D];沈阳工业大学;2012年

8 王国华;X—Y精密工作台电控系统的研制[D];长春理工大学;2002年

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本文编号：2041420