电容式、隧道式加速度计检测技术研究.pdf 全文免费在线阅读

  本文关键词：硅微电容式、隧道式加速度计检测技术研究，，由笔耕文化传播整理发布。

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图书分类号UDC3’密级韭窒硕士学位论文硅微电容式、隧道式加速度计检测技术研究王玲指导教师(姓名、职称).型焦塾攫申请学位级别王主亟±专业名称疆蜜堡噩厦塑煎论文提交日期一!旦!!年璺月!!日论文答辩El期2111年一生月一21日学位授予El期——年——月——日论文评阅人答辩委员会主席2007年4月23日中北大学学位论文硅微电容式、隧道式加速度计检测技术研究摘要随着硅微加工技术的不断成熟,硅微加速度计已经在传感器市场占据着越来越重要的地位。传感器技术的发展也对其外围检测电路提出了越来越高的要求,对硅微传感器敏感元件输出的微弱信号的检测是目前研究的热点之一。微小型化的传感器敏感元件必然也要求微小型化的外围电路与之相匹配,电路的集成化是必然的趋势a本文对硅微加速度计研究中的热点——电容式加速度计和隧道式加速度计的微弱信号检测电路进行了设计、测试及标定,并对电容式加速度计及所设计的检测电路进行了厚膜混合集成。在了解梳齿式电容加速度计检测原理的基础上,完成了其差分检测电路的设计,为保证其线性度和提高量程,采用了闭环反馈控制电路。测试了所设计电路的分辨率,己达10。6F。与电容式加速度计进行了联调,并进行了传感器的静态及动态测试,各项测试均... 内容来自转载请标明出处.

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