电容式微机械静电伺服加速度计系统分析.pdf 全文免费在线阅读

  本文关键词：电容式微机械静电伺服加速度计系统分析，，由笔耕文化传播整理发布。

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电子科技大学硕士学位论文电容式微机械静电伺服加速度计系统分析姓名:陈宇晓申请学位级别:硕士专业:电路与系统指导教师:刘昌孝2002.12.11电子科技大学硕士论文摘要l现代惯性加速度计的发展方向是微小型化和集成化,而MEMS技术提供了这样一种可能矿战略惯导加速度计实用化的首要条件是大量程(709以上)和高稳定性,本文针对一种最基本、最为典型和工艺上较易实现的“三明治”结构,从静态和动态两方面对电容式微机械静电伺服加速度计系统进行了详细分析。主要包括:敏感质量偏心距、横向加速度干扰和外加偏压对传感器稳定性的影响,给出稳定和参数受限条件下最大量程的求解以及提高量程的方法,研究如何补偿伺服系统动态性能,以及不同输入条件下系统响应的分析。本文根据已有的加速度计模型,导出了惯性传感器中敏感质量块的各个运动方程,通过数学解析的方法,分析了各参数对量程和稳定性的影响以及它们内在的关系,指出关键参数是敏感质量和临界偏压;根据二阶系统分析方法研究加速度计闭环伺服系统的动态响应和调整动态参数的手段,最后利用系统仿真工具MATLAB给出形象图解和验证。闭环伺服原理保证了微惯性加速度计具有较大量程,以及闭环系统的一系列变换环节可近似为线性关系。由于采取... 内容来自转载请标明出处.

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