硅微谐振式加速度计结构设计技术研究.pdf 全文免费在线阅读

  本文关键词：硅微谐振式加速度计结构设计技术研究，由笔耕文化传播整理发布。

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硕士论文硅微谐振式加速度计结构设计技术研究摘要硅微谐振式加速度计是一种新型的加速度计,其输出信号为频率信号,具有精度高和抗干扰能力强等优点,已成为微传感器的重要发展方向之一。本论文由硅微谐振式加速度计的结构设计技术展开,研究的主要内容包括:1)DETF谐振器的设计与分析主要包括对DETF谐振器的理论推导与仿真分析。理论部分包括:建立了谐振梁的固有频率、有轴向力作用时的谐振频率以及谐振梁的非线性振动的理论模型,并采用FEA进行了理论模型的仿真验证。对电学模型进行了详细分析,论述了其驱动检测方式,并推导了其等效电学模型。仿真部分包括对DETF谐振器的模态分析和静电驱动仿真分析。2)微杠杆结构的设计与分析结合工艺条件分析、设计并优化了微杠杆结构。论文中采用的微杠杆结构主要包括支点、输入端、杠杆、输出端和杠杆与谐振器的连接部分。根据力平衡和力矩平衡原理推导了微杠杆的放大倍数,并对其进行了理论分析。通过仿真验证微杠杆结构的各个组成部分对放大倍数的影响,实现对微杠杆结构的优化设计。3)整体结构的设计与仿真验证结合性能指标和加工工艺边界条件对硅微谐振式加速度计整体结构进行设计。针对加速度计的核心指标进行分析,主要包括标度因数、线性度... 内容来自转载请标明出处.

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