热气泡式微流体驱动器的研究进展

发布时间：2018-11-01 14:15

【摘要】：热气泡式微流体驱动器是微驱动的一个研究分支,是微流控器件的重要组成部分.热气泡式微流体驱动器没有机械可动部件和机械变形,结构简单、容易加工制造、可靠性高,在航空航天、生物医学和化学等领域具有广阔的应用前景.目前,热气泡式微流体驱动器主要采用4种加热方式:电阻加热、电磁感应加热、激光加热和电火花加热.对以上4种热气泡式微驱动器的研究进展进行了总结,分析了不同加热驱动方式的工作原理、结构组成、微加工制作方法、实验测试结果和驱动特点,并对今后热气泡式微驱动器的发展趋势及研究方法进行了分析.
[Abstract]:Thermal bubble micro-fluid actuator is a branch of micro-drive and an important part of micro-fluidic devices. Thermal bubble microfluid actuator has no mechanical movable parts and mechanical deformation, simple structure, easy to process and manufacture, and has high reliability. It has broad application prospects in aerospace, biomedical and chemical fields. At present, there are four kinds of heating methods: resistance heating, electromagnetic induction heating, laser heating and electric spark heating. The research progress of the four kinds of thermal bubble micro actuators is summarized. The working principle, structure composition, fabrication method, experimental test results and driving characteristics of different heating drive modes are analyzed. The development trend and research methods of thermal bubble micro actuators in the future are analyzed.
【作者单位】： 北京工业大学机械工程与应用电子技术学院;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(51105011) 北京市教育委员会科技计划项目(KM201210005015)
【分类号】：TH703

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本文编号：2304162