高加速精密运动平台建模及其控制关键技术的研究.pdf 全文免费在线阅读

  本文关键词：高加速精密运动平台建模及控制关键技术研究，由笔耕文化传播整理发布。

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国内图书分类号:TP242.2 学校代码:10213 国际图书分类号:681.532 密级:公开工学硕士学位论文高加速精密运动平台建模及控制关键技术研究硕士研究生:刘武龙导师:刘延杰教授申请学位级别:工学硕士学科、专业:机械电子工程所在单位:机电工程学院答辩日期:2013年7月2日授予学位单位:哈尔滨工业大学 Classified Index: TP242.2 U.D.C.: 681.532 A Dissertation for the Master Degree of Engineering RESEARCH ON KEY MODELING AND CONTROLLING TECHNIQUES FOR HIGH ACCELERATION PRECISION MOTION STAGE Candidate: Wulong Liu Supervisor: Prof. Yanjie Liu Academic Degree Appliedfor: Master of Engineering Speciality: Mechatronics Engineering Affiliation: School of Mechatronics Engineering Date of Defence: July, 2013 Degree-Conferring-Institution: : Harbin Institute of Technology 哈尔滨工业大学工学硕士学位论文-I- 摘要芯片封装是IC产业中重要环节,高加速精密运动平台是封装设备的核心运动部件。随着科技发展,芯片的尺寸越来越小,引线间距也越来越小, 对封装效率的要求越来越高,这就要求面向芯片封装的运动平台具有更快的速度、更高的加速度、更高的定位... 内容来自转载请标明出处.

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