精密运动平台高精度PID控制器研究

  本文关键词：高加速精密运动平台建模及控制关键技术研究，由笔耕文化传播整理发布。

高加速精密运动平台建模及控制关键技术研究

高加速精密运动平台建模及控制 关键技术研究 硕士研究...PID 控制器,以及速度环 PID+扰动观测器 (DOB)的...精度, Y 向可以 6ms 以内达到±1um 的定位精度,...

超精密运动平台高动态性能运动部件的研究

随着对超精密运动平台运动速度加速度和定位精度的不断提高, 运动系统的动态性能的要求也越来 越高, 这不仅对控制系统提出了更高的要求, 同时对其中运动部件的模态...

dsp+fpga高速高精密双轴同步控制研究

dsp+fpga高速高精密双轴同步控制研究_兵器/核科学_工程...调整机械安装位置,提高整体精度,构建起整个运动平台...关键词:DSP双轴同步交叉耦合自适应模糊PID贴片机 ...

5双边驱动精密XY运动平台解耦控制研究

5双边驱动精密XY运动平台解耦控制研究_机械/仪表_工程科技_专业资料。# 控制与检测...高性能精密运动平台 作为光刻机的核心技术之一 , 其运动精度直接影响光刻机 ...

超精密运动平台高动态性能运动部件的研究

三坐标精密运动平台的设计 3页 免费 精密运动平台高精度PID控制... 75页 2财富...3 ? 7 ; uu 平幂 ,朋 设计与研究 Dia eende s Ragns1 初步理论分析 图...

超精密运动平台隔振系统性能分析与实验研究

取得了一定 的进展 $而对于微细加工!除了驱动和运动进给控 #!$ 系统 ’控制...高精度微细加工中平台驱动以及超精密测量各个环 节的热变形和外界震动对精度的...

基于高精度运动平台的误差模型构建与分析

精度 (包括纳米级尺寸精度、 2 运动平台的结构研究的三坐标大行程精密运动平台,...基于高精度运动平台的误差模型构建与分析 5 由于运动误差的空间性原因, 环控制,...

精密运动控制器LM628的应用设计

精密运动控制器LM628的应用设计_电脑基础知识_IT/计算机...和微处理器可实 现低成本、高精度神经元 PID 伺服...2014年细分行业研究报告年度盘点 2014年移动互联网O2...

近红外光谱干涉仪高精度运动控制器设计

采用增量式数字PID控制策略,实现音圈电机匀速运动控制...近红外光谱干涉仪属于一种高精度的精密仪器,其中的...年生,硕士,讲师,主要研究方向:电 工电子技术研究。...

...Positioning system高精度定位系统鲁棒运动控制器设...

system高精度定位系统鲁棒运动控制器设计_电子/电路_...在[10]中,Tomizuka 也总结了过去和现在的研究 的...运动控制系统实验图 1 描述了一个实验性的精密运动...

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