用于微型拉曼光谱仪分光芯片的阵列波导光栅研究进展

发布时间：2019-03-06 13:00

【摘要】：微型拉曼光谱仪的核心部件是分光芯片,研制出适应微型拉曼光谱仪微型化、加工精度高、成本低的新型分光芯片对于打破目前的国外技术专利封锁,获得属于我国的自主知识产权具有重要意义。将本来诞生于光通信领域的阵列波导光栅用于微型拉曼光谱仪是研究的新思路,其具有尺寸小、精度高、工艺简单、易于批量生产的优点。总结介绍了用于微型拉曼光谱仪分光芯片的阵列波导光栅在国内外的研究进展,并且作了相应的分析,提出了一定的改进方法。
[Abstract]:The core component of the micro-Raman spectrometer is the split-light chip. The development of a new type of spectrometer, which adapts to the miniaturization of the micro-Raman spectrometer with high processing precision and low cost, can break the blockade of the foreign technology patents at present. It is of great significance to acquire independent intellectual property rights which belong to our country. It is a new idea to apply arrayed waveguide grating which was born in the field of optical communication to micro Raman spectrometer. It has the advantages of small size, high precision, simple process and easy to produce in batch. The research progress of arrayed waveguide grating used in micro Raman spectrometer is summarized and analyzed, and some improvement methods are put forward.
【作者单位】： 厦门理工学院光电与通信工程学院;福建省光电信息材料与器件重点实验室;
【基金】：国家自然科学基金(11304259) 福建省教育厅A类科技计划项目(JA12254,JA11228)
【分类号】：TH744.1

【参考文献】

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【共引文献】

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【二级参考文献】

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