激光干涉仪的应用——激光干涉仪技术综述之五

发布时间：2019-10-12 03:42

【摘要】：激光干涉仪具有测量范围大、精度高等特点,在各个领域得到广泛应用。本文介绍了激光干涉仪在数控机床检测、纳米测量、激光跟踪仪等方面的具体应用。
【作者单位】： 成都工具研究所有限公司;
【分类号】：TH744.3

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本文编号：2547867