激光共焦透镜轴向间隙测量方法

发布时间：2020-11-17 00:49

　　 镜组内各透镜间的轴向间隙是光学系统装配中的一个重要参数。为精确测量镜组内各透镜间的轴向间隙,提出了一种激光共焦镜组间隙测量方法。该方法利用共焦光强响应曲线的峰值点对应系统物镜聚焦焦点这一特性,使用环形激光共焦层析定焦技术对装配后镜组内各透镜表面的顶点位置进行高精度定位,并结合光学追迹方法精确计算各个透镜表面顶点之间的距离,继而得到镜组的轴向间隙。初步的实验表明该方法的重复性可达到0.3μm。
【文章目录】：
1引言
2共焦透镜间隙测量原理
    2.1 镜组内球面精确定焦
    2.2 环形光阑参数选择
    2.3 透镜轴向间隙的计算
3实验验证
4结论

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